Na hali produkcyjnej wiadomo, jak szybko nawet 0,5°C różnicy w temperaturze podczas obróbki fotorezystu może pogorszyć jakość produktu i doprowadzić do strat. Stworzyliśmy nasz system z wykorzystaniem taśmy termicznej o wysokiej temperaturze, aby wyeliminować tę niepewność.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia:
Platforma zapewnia stałą jednorodność temperatury na poziomie ±0,1°C na całej powierzchni płytki, przy użyciu krótkofalowego promieniowania podczerwonego oraz systemu pomiaru temperatury typu „closed-loop”. System ten jest przeznaczony do useków klasy 1–100, składa się z materiałów o niskiej emisji gazów oraz mechanizmów kontrolujących liczbę cząstek w powietrzu, dzięki czemu ich liczba pozostaje poniżej granicy dopuszczalnej podczas procesu obróbki. Profil fotorezystu pozostaje stały z cyklu na cykl, ponieważ temperatura jest dokładnie kontrolowana – a nie tylko szacowana.
Dlaczego to działa w litografii:
Stabilność temperatury podczas delikatnej obróbki bezpośrednio wpływa na usunięcie rozpuszczalników i napięcie w warstwie fotorezystu. Powtarzalność procesu podczas intensywnej obróbki determinuje przyczepność warstwy fotorezystu oraz jej odporność na działanie kwasów. Nasz system zapewnia realizację wszystkich wymagań, co zmniejsza ilość pracobieżek, poprawia efektywność produkcji i ogranicza marnotrawstwo energii poprzez dostosowanie temperatury do rzeczywistych potrzeb procesu. W rezultacie uzyskujemy lepszą kontrolę nad wymiarami elementów produkcyjnych, mniej defektów oraz możliwość planowania okresów konserwacji – innymi słowy, wyższą produktywność bez konieczności ciągłego monitorowania parametrów.
Oto kilka praktycznych wskazówek:
Podczas instalacji należy dostosować moc wentylacji oraz system izolacji drgań do wymagań urządzenia. Niewłaściwe połączenia rur mogą powodować turbulencje w przepływie powietrza, co negatywnie wpływa na jednorodność temperatury. Pompa grzewcza jest w stanie radzić sobie z wielokrotnymi cyklami termicznymi, ale w warunkach wysokiej temperatury i dużej wydajności konieczne są regularne inspekcje interfejsu taśmy, aby zachować jej integralność. Jeśli wszystko zostanie dobrze skonfigurowane, urządzenie będzie funkcjonować zgodnie z wymaganiami.