http://industrial-qz-heater.com/pl/tags/elipsometria/ Recent content in Elipsometria on Industrial Quartz Heating Systems Hugo pl Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/pl/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/pl/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Grzałka sondy elipsometrycznej dla płytek"></p> <p>Na linii produkcyjnej dane uzyskane za pomocą elipsometrii mają wartość tylko w takim stopniu, w jakim ma wartość temperatura sondy. Nawet niewielka zmiana temperatury o 1°C podczas procesu odparowywania może wpłynąć na grubość warstwy fotoopornika oraz na jej rozmiary, co z kolei może skutkować awarią płytki krzemowej. Stworzyliśmy grzejnik sondału elipsometrycznego, który pracuje przy zerowej tolerancji na takie odchylenia – jednorodność temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, dzięki czemu odczyty odzwierciedlają rzeczywisty przebieg procesu, a nie wahania temperatury.</p>