Aquecedor infravermelho para secagem de wafers

Mon, 01 Jun 2026 17:30:32 +0800

Na área de litografia, uma pastilha sai do banho de limpeza encharcada. Se o secador IR não acompanhar, surgem marcas de água, o fotorresiste não adere, e a linha para completamente. Projetamos nossos aquecedores infravermelhos para secagem de pastilhas para evitar essa falha antes que ela aconteça.

O que importa no funcionamento interno
Utilizamos emissores de quartzo infravermelho de onda curta, de modo que a energia atinge a pastilha diretamente e rapidamente, mantendo o substrato frio. Obtém-se uniformidade térmica a nível de pastilha dentro de ±0,1°C ao longo da janela do processo, o que mantém os perfis de soft bake e hard bake exatamente onde precisam estar. A saída permanece estável por mais de 5.000 horas com deriva de intensidade inferior a 5%, garantindo que a repetibilidade não caia com o tempo. O módulo do aquecedor é compatível com salas limpas Classe 1–100 e é projetado para gerar zero partículas — confirmado por monitoramento de contagem de partículas no ponto de uso.

Pastilha on Industrial Quartz Heating Systems

Aquecedor infravermelho para secagem de wafers