Aquecedor de sistema de secagem de wafers industriais

Fri, 05 Jun 2026 01:03:51 +0800

No chão da fábrica, a deriva térmica durante a secagem da bolacha é a única coisa que uma célula de litografia simplesmente não pode se dar ao luxo de ter. Mesmo alguns graus de não uniformidade na superfície do fotoresiste resultarão em erros de sobreposição e afetarão diretamente o rendimento. Construímos nossos aquecedores industriais de secagem de bolachas para eliminar essa variável.

Precisão Infravermelha: Controle Sub-Milimétrico em que Você Pode Confiar

Executamos emissores infravermelhos de onda curta através de um sistema óptico projetado para moldar o campo térmico com controle espacial sub-milimétrico. O resultado é uniformidade de temperatura em nível de bolacha dentro de ±0,1°C ao longo da janela de processo, e repetibilidade que se mantém de turno para turno, lote para lote. Perfis de soft bake e hard bake permanecem estáveis, o controle de CD se aperta, e o orçamento térmico se mantém dentro das especificações. Ao longo de mais de 5.000 horas, a saída permanece estável com menos de 5% de deriva de intensidade, e o sistema é projetado para funcionar 24/7 sem paradas não planejadas.

Sistema on Industrial Quartz Heating Systems

Aquecedor de sistema de secagem de wafers industriais

Precisão Infravermelha: Controle Sub-Milimétrico em que Você Pode Confiar