Нагреватель для зонда эллипсометрии на пластине

Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800

На производственном полу данные, получаемые с помощью эллипсометрии, имеют ценность только в той мере, в какой соответствует температура пробки. Изменение температуры на 1°C во время процессов мягкой или жесткой обработки может привести к изменению толщины фоторезиста и его коэффициента CD. Это, в свою очередь, может привести к сбоям в работе пластины. Мы разработали специальный нагреватель для пробок эллипсометра, который обеспечивает точность до ±0,1°C; таким образом, показания прибора отражают состояние самой пластинки, а не колебания температуры.

Пробник on Industrial Quartz Heating Systems

Нагреватель для зонда эллипсометрии на пластине