Датчик температуры для инструментов для обработки пластин

Mon, 27 Jul 2026 16:08:14 +0800

Инфракрасное нагревание против горячего воздуха: почему ваше оборудование для обработки полупроводников работает медленно
Если вы до сих пор используете горячий воздух для глубокой обработки полупроводников, скорее всего, вы теряете слишком много времени на ожидание.
Дело в том, что при использовании горячего воздуха происходит конвекция – необходимо нагреть весь объем камеры, каждый кубический дюйм воздуха, прежде чем сама пластина начнет нагреваться. Это занимает много времени. Кроме того, существует значительная задержка, которая снижает эффективность работы оборудования.
Все дело в времени.
Инфракрасное нагревание работает иначе. Оно не зависит от воздуха – оно направляет излучаемую энергию прямо на пластину. Это быстро. Очень быстро.
Вместо ожидания, пока вентилятор будет перемещать горячий воздух, фотоны сразу же воздействуют на материал, что позволяет ускорить процесс обработки. Время на разогрев и охлаждение значительно сокращается. Когда исчезает эта задержка, производительность оборудования растет.
К тому же управление процессом становится гораздо более точным.
При использовании горячего воздуха всегда нужно беспокоиться о «холодных зонах», вызванных пустотами в воздухе или аномалиями в потоке воздуха. Это создает проблемы. С инфракрасными лампами мы можем контролировать распределение тепла. Мы просто корректируем расположение ламп, чтобы компенсировать потери тепла на краях, и тогда однородность нагрева достигается.
Но есть один недостаток: нельзя пренебрегать качеством оборудования. Поскольку инфракрасное излучение действует очень быстро, необходимы высокоскоростные датчики и четко настроенный цикл управления. Если датчик работает медленно, процесс нагрева будет происходить слишком быстро, что может привести к повреждению пластины еще до того, как система сможет свернуть процесс нагрева.
Это компромисс, который необходимо учитывать.
Инфракрасное нагревание – мощный инструмент, но он действует только в определенном направлении. Он нагревает только ту область, которую может «увидеть». Если у вашего оборудования сложные формы, возникают проблемы с равномерным нагревом. Нельзя просто установить инфракрасную лампу в старое оборудование – необходимо пересмотреть всю конструкцию оборудования, чтобы обеспечить четкий вид на поверхность пластины.

Нагреватель инструмента для проверки полупроводников

Tue, 02 Jun 2026 03:35:39 +0800

На производственном этаже температурный скачок во время инспекции пластин может сместить критические размеры, привести к браку партии и отнять часы времени литографии. Мы разработали нагреватель для инструмента инспекции, чтобы предотвратить такие ситуации изначально. Он использует коротковолновое инфракрасное излучение для создания теплового поля с субмиллиметровой однородностью и повторяемой стабильностью — в строгом соответствии с тепловыми ограничениями современных технологических норм.

Что важно внутри

Ядро системы — массив инфракрасных излучателей, обеспечивающий однородность температуры на уровне пластин ±0,1°C, при этом повторяемость температуры сохраняется стабильной в течение смен. Профиль нагрева точно соответствует требованиям мягкого и жесткого запекания без превышения заданных параметров, что сохраняет целостность фоторезиста и контролирует эффект стоячих волн. Совместимость с чистыми помещениями не является побочным моментом — в условиях класса 1–100 не образуются частицы, а материалы контролируются по выбросам для предотвращения загрязнений. Подача питания откалибрована для круглосуточного режима работы, обеспечивая минимальный тепловой дрейф даже после тысяч циклов.

Tool on Industrial Quartz Heating Systems

Датчик температуры для инструментов для обработки пластин

Нагреватель инструмента для проверки полупроводников