ลองดูวิดีโอที่แสดงให้เห็นถึงขั้นตอนการนำชิปขนาด 300 มม. ออกมาจากเครื่องเคลือบสาร โดยสารฟอโตรีซิสต์จะอยู่ในตำแหน่งที่พร้อมสำหรับการใช้งาน หากการอบชิปไม่สม่ำเสมอ ก็จะทำให้เสียชิปไปหนึ่งชิ้น นอกจากนี้ยังส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลง และส่งผลกระทบต่อกระบวนการผลิตโดยรวมด้วย เราจึงออกแบบระบบ IR สำหรับชิปขนาด 300 มม. ขึ้นมา เพื่อให้สามารถส่งความร้อนไปยังจุดที่จำเป็นได้อย่างสม่ำเสมอ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราใช้เครื่องกำเนิดแสงอินฟราเรดคลื่นสั้น เพื่อให้การถ่ายโอนพลังงานเกิดขึ้นอย่างรวดเร็วและตรงจุด ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิของชิปมีความสม่ำเสมออยู่ที่ ±0.1°C ทั่วพื้นผิว 300 มม. และสามารถรักษาความสม่ำเสมอนี้ได้ตลอดกระบวนการผลิต นอกจากนี้ ระบบนี้ยังสามารถใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 และไม่มีฝุ่นเข้ามาในห้องเลย ทำให้ห้องปลอดภัยตลอดเวลา
ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการผลิต? เพราะระบบนี้ช่วยสนับสนุนขั้นตอนการผลิตที่ต้องใช้ความร้อนมาก เช่น การอบชิป การทำให้สารฟอโตรีซิสต์แข็งตัว เมื่ออุณหภูมิมีความสม่ำเสมอ ก็จะช่วยให้การควบคุมขนาดของชิปมีความแม่นยำมากขึ้น และลดข้อบกพร่องได้ นอกจากนี้ การตอบสนองทางความร้อนก็รวดเร็ว ทำให้เวลาในการผลิตลดลงด้วย
สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้ ระบบนี้สามารถนำมาใช้ร่วมกับกระบวนการผลิตที่มีอยู่ได้อย่างง่ายดาย แต่ก็ต้องมีแหล่งจ่ายไฟและน้ำที่ใช้ในการระบายความร้อนเป็นของตัวเอง ควรมีไฟฟ้าแรงดัน 240V สามเฟส พร้อมน้ำที่ผ่านการกรองเพื่อรักษาความเสถียรทางความร้อนในระหว่างการผลิต
ผลลัพธ์ที่ได้คืออะไร? คือการควบคุมกระบวนการผลิตได้อย่างสม่ำเสมอ ตลอดเวลา