เทปกาวสำหรับใช้ในอุณหภูมิสูง

Tue, 23 Jun 2026 12:35:56 +0800

ในโรงงานผลิตชิป คุณก็รู้ดีว่าการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ระหว่างกระบวนการอบฟิล์มโฟโตรีซิสต์นั้น สามารถส่งผลกระทบอย่างรุนแรงต่อขนาดของชิปได้ จนทำให้ชิปเสียหายไปเลย เราจึงสร้างระบบใช้เทปควบคุมอุณหภูมิความร้อนสูงขึ้นมา เพื่อขจัดความไม่แน่นอนดังกล่าวออกไป

สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค ระบบนี้สามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งวงจรได้ โดยใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น พร้อมระบบวัดอุณหภูมิแบบลูปปิด เพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ โดยไม่มีการเกินค่าที่กำหนด ระบบนี้ออกแบบมาสำหรับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีระบบควบคุมอนุภาคที่ช่วยให้จำนวนอนุภาคอยู่ในระดับต่ำ ซึ่งช่วยให้คุณสมบัติของฟิล์มโฟโตรีซิสต์คงที่ในแต่ละรอบการผลิต เพราะอุณหภูมิถูกควบคุมอย่างแม่นยำ ไม่ใช่การคาดเดา

เหตุผลที่ระบบนี้มีประสิทธิภาพในการผลิตชิป ความเสถียรของอุณหภูมิในระหว่างกระบวนการอบนั้นมีผลโดยตรงต่อการกำจัดสารละลายและความเครียดของฟิล์ม ส่วนความสม่ำเสมอในการอบนั้นมีผลต่อความแข็งแรงของการยึดเกาะของฟิล์มกับพื้นผิวชิป ระบบของเราช่วยให้ขั้นตอนเหล่านี้อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด ซึ่งช่วยลดการต้องทำชิปใหม่ ช่วยเพิ่มอัตราการผลิต และช่วยลดการสูญเสียพลังงาน เพราะสามารถควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสมกับกระบวนการผลิตได้ สิ่งนี้ช่วยให้คุณสามารถควบคุมขนาดของชิปได้ดีขึ้น มีข้อบกพร่องน้อยลง และสามารถวางแผนการบำรุงรักษาได้อย่างมีประสิทธิภาพ กล่าวอีกนัยหนึ่งก็คือ ช่วยเพิ่มอัตราการผลิตโดยไม่ต้องเผชิญกับปัญหาการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ

เคล็ดลับการใช้งาน ขั้นตอนการติดตั้งคือการปรับแรงดันไฟฟ้าและระบบกันสั่นสะเทือนให้เหมาะสมกับขนาดของเครื่องจักร หากการเชื่อมต่อท่ออากาศไม่เหมาะสม ก็อาจทำให้เกิดกระแสอากาศที่ไม่สม่ำเสมอได้ ตัวเครื่องทำความร้อนสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิได้หลายครั้ง แต่ภายใต้สภาพอุณหภูมิสูงและอัตราการผลิตสูง จำเป็นต้องมีการตรวจสอบอินเตอร์เฟซของเทปเป็นประจำ เพื่อรักษาความแข็งแรงของการยึดเกาะของฟิล์ม หากปรับให้เข้ากับขั้นตอนการผลิตได้ ระบบนี้ก็จะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพตามที่กำหนดไว้

ความร้อนที่สม่ำเสมอสำหรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. ในช่วงคลื่นอินฟราเรด

Thu, 18 Jun 2026 00:44:19 +0800

ลองดูวิดีโอที่แสดงให้เห็นถึงขั้นตอนการนำชิปขนาด 300 มม. ออกมาจากเครื่องเคลือบสาร โดยสารฟอโตรีซิสต์จะอยู่ในตำแหน่งที่พร้อมสำหรับการใช้งาน หากการอบชิปไม่สม่ำเสมอ ก็จะทำให้เสียชิปไปหนึ่งชิ้น นอกจากนี้ยังส่งผลให้ประสิทธิภาพการผลิตลดลง และส่งผลกระทบต่อกระบวนการผลิตโดยรวมด้วย เราจึงออกแบบระบบ IR สำหรับชิปขนาด 300 มม. ขึ้นมา เพื่อให้สามารถส่งความร้อนไปยังจุดที่จำเป็นได้อย่างสม่ำเสมอ

สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราใช้เครื่องกำเนิดแสงอินฟราเรดคลื่นสั้น เพื่อให้การถ่ายโอนพลังงานเกิดขึ้นอย่างรวดเร็วและตรงจุด ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิของชิปมีความสม่ำเสมออยู่ที่ ±0.1°C ทั่วพื้นผิว 300 มม. และสามารถรักษาความสม่ำเสมอนี้ได้ตลอดกระบวนการผลิต นอกจากนี้ ระบบนี้ยังสามารถใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 และไม่มีฝุ่นเข้ามาในห้องเลย ทำให้ห้องปลอดภัยตลอดเวลา

ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการผลิต? เพราะระบบนี้ช่วยสนับสนุนขั้นตอนการผลิตที่ต้องใช้ความร้อนมาก เช่น การอบชิป การทำให้สารฟอโตรีซิสต์แข็งตัว เมื่ออุณหภูมิมีความสม่ำเสมอ ก็จะช่วยให้การควบคุมขนาดของชิปมีความแม่นยำมากขึ้น และลดข้อบกพร่องได้ นอกจากนี้ การตอบสนองทางความร้อนก็รวดเร็ว ทำให้เวลาในการผลิตลดลงด้วย

สิ่งที่คุณต้องเตรียมไว้ ระบบนี้สามารถนำมาใช้ร่วมกับกระบวนการผลิตที่มีอยู่ได้อย่างง่ายดาย แต่ก็ต้องมีแหล่งจ่ายไฟและน้ำที่ใช้ในการระบายความร้อนเป็นของตัวเอง ควรมีไฟฟ้าแรงดัน 240V สามเฟส พร้อมน้ำที่ผ่านการกรองเพื่อรักษาความเสถียรทางความร้อนในระหว่างการผลิต

ผลลัพธ์ที่ได้คืออะไร? คือการควบคุมกระบวนการผลิตได้อย่างสม่ำเสมอ ตลอดเวลา

ความร้อน on Industrial Quartz Heating Systems

เทปกาวสำหรับใช้ในอุณหภูมิสูง

ความร้อนที่สม่ำเสมอสำหรับเวเฟอร์ขนาด 300 มม. ในช่วงคลื่นอินฟราเรด