http://industrial-qz-heater.com/th/tags/%E0%B9%82%E0%B8%9E%E0%B8%A3%E0%B8%9A/ Recent content in โพรบ on Industrial Quartz Heating Systems Hugo th Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/th/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/th/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="เครื่องทำความร้อนสำหรับโพรบใช้ในการวัดค่าเอลิปโซมีเตอร์"></p> <p>ในห้องผลิตชิป ข้อมูลจากเครื่องวัดค่าเอลลิปโซมเมตรีจะมีคุณค่าก็ต่อเมื่ออุณหภูมิของหัววัดอยู่ในระดับที่เหมาะสมเท่านั้น การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C ในระหว่างกระบวนการอบชิป ก็สามารถทำให้ความหนาของฟิล์มโฟโตรีซิสต์และค่า CD เปลี่ยนแปลงได้ ซึ่งจะส่งผลให้ชิปไม่สามารถใช้งานได้ เราจึงออกแบบหัววัดค่าเอลลิปโซมเมตรีให้มีความแม่นยำสูง โดยให้อุณหภูมิของชิปอยู่ในช่วง ±0.1°C เท่านั้น เพื่อให้ค่าที่ได้สะท้อนถึงกระบวนการผลิตจริง ไม่ใช่แค่การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิเท่านั้น</p> <p><strong>สิ่งที่สำคัญจริงๆ</strong><br> หัววัดนี้ใช้องค์ประกอบที่มีมวลความร้อนต่ำ และมีการออกแบบมาเพื่อใช้กับแสงอินฟราเรด รวมถึงใช้วัสดุควอตซ์เพื่อลดความแตกต่างของอุณหภูมิบนชิป ค่าอุณหภูมิที่ตั้งไว้จะอยู่ในช่วง 25°C ถึง 300°C โดยมีความคลาดเคลื่อนไม่เกิน ±0.1°C นอกจากนี้ ระบบควบคุมอุณหภูมียังช่วยให้อุณหภูมิของฟิล์มโฟโตรีซิสต์อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้ นอกจากนี้ ยังมีการออกแบบให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องผลิตที่มีมาตรฐานสูง โดยเลือกวัสดุและอุปกรณ์ที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานในห้องผลิตที่มีมาตรฐาน Class 1–100 อีกทั้งการออกแบบยังช่วยให้ไม่มีฝุ่นละอองเกิดขึ้นระหว่างการทำงาน อัตราการให้พลังงานจะคงที่ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความคลาดเคลื่อนของความเข้มแสงน้อยกว่า 5%</p> <p><strong>เหตุใดจึงเหมาะสำหรับการใช้งานในกระบวนการลิโธกราฟี</strong><br> ในกระบวนการลิโธกราฟี หัววัดนี้ช่วยควบคุมสภาพอุณหภูมิที่จุดวัดได้อย่างแม่นยำ ทำให้ไม่เกิดความคลาดเคลื่อนจากอุณหภูมิที่เกิดขึ้นหลังจากการอบชิป ซึ่งจะช่วยลดความจำเป็นในการทำงานซ้ำ นอกจากนี้ ความสามารถในการวัดค่า CD ก็จะดีขึ้น ทำให้สามารถวางแผนเวลาการผลิตได้อย่างแม่นยำ นอกจากนี้ ยังช่วยประหยัดพลังงานได้อีกด้วย เนื่องจากมีการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ส่งผลต่อความแม่นยำในการวัด</p> <p><strong>สิ่งที่จำเป็นต้องทำให้ถูกต้อง</strong><br> อุปกรณ์นี้ต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่สะอาดและมีความแม่นยำ รวมถึงต้องมีการปรับตำแหน่งของอุปกรณ์ให้ตรงกับจุดวัดอย่างแม่นยำ มิฉะนั้นอาจเกิดความแตกต่างของอุณหภูมิในระดับไมครอนได้ อุปกรณ์นี้สามารถใช้งานร่วมกับอุปกรณ์มาตรฐานได้ แต่คุณต้องกำหนดรูปแบบของตัวเชื่อมต่อและการติดตั้งสำหรับอุปกรณ์นี้ด้วย นอกจากนี้ ควรมีการทดสอบการใช้งานเบื้องต้นเพื่อปรับค่า PID ให้เหมาะสมกับชิปที่ใช้งาน</p>