Temiz odanızı gerçekten temiz tutmak: Kızılötesi ısıtma konusundaki gerçekler
Eğer Class 100 sınıfında bir temiz oda işletiyorsanız, toz parçacıklarının oluşturduğu sorunları zaten biliyorsunuzdur. Bir tane küçük toz parçacığı ya da az miktarda gaz salınımı bile tüm waferlerin bozulmasına neden olabilir.
Sorun şu ki, çoğu standart ısıtıcı eleman bu tür durumlar için uygun değildir. Isındıklarında ve soğuduklarında mikroskobik parçacıklar ortaya çıkar. Bu durum sürekli bir mücadele anlamına gelir.
Biz daha iyi bir çözüm bulduk. Yüksek saflıkta kuvars tüpler kullanıyoruz; bu tüplerin yüzeyleri altın kaplamalıdır. Basit bir yöntem, ancak etkilidir.
Neden altın?
Standart kuvars lambalarının sorunu, ısıyı her yöne yaymasıdır. Bu da israf demektir. Tüpün arka kısmına ince bir altın tabakası ekleyerek, tüm kızılötesi enerjiyi ileriye doğru yönlendiriyoruz. Böylece substratınıza ulaşan ısı miktarı ikiye katlanıyor. Altını kullanmamızın sebebi, kızılötesi ışınları en iyi şekilde yansıtabilmesidir. Ayrıca diğer malzemelerin aksine, sıcaklık arttığında oksitlenmez.
Ayrıca herhangi bir cam kullanmıyoruz; yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Böylece ısı arttığında, tüpten silikon üzerine rastgele iyonların geçmesi gibi bir sorun olmaz. Böylece temizlik daha kolay hale gelir.
Hız, ısı ve dikkat edilmesi gerekenler
Bu lambalar hızlı termal işlemler için tasarlanmıştır. Altın sayesinde enerji yoğunlaştığı için ısı dağılımı çok daha düzgün olur. Hedef sıcaklıklara daha hızlı ulaşılır, bu da waferlerin daha az süre stres altında kalmasını sağlar.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: güç yoğunluğuna dikkat edin. Lambaların maksimum kapasitesine ulaştığında, uç kapaklar ve contalar büyük baskı altında kalır. Her zaman vakum contalarına ve soğutma sistemlerine dikkat etmek gerekir. Isı stresi yüzünden kuvarsın zarar görmesini istemezsiniz.
Sisteminizde nasıl kullanılır?
Bunları yerine takılabilir şekilde tasarladık. Tüm ekipmanınızı yeniden kurmanıza gerek yok. En iyi yanlarından biri de, hacimli dış reflektörlerden kurtulabilmenizdir. Bu tür reflektörler toz toplar ve temizlenmesi zordur. Yansıma işlemi tüpün içinde yapıldığı için, odanızdaki parça sayısı azalır. Daha az parça demek, daha hızlı temizlik süreci demektir. Ve daha hızlı temizlik süreci de parçacık sayısının istenen seviyede kalmasını sağlar.