Akıllı bir fabrikada ısıyı doğru şekilde kontrol etmek
Eğer Endüstri 4.0 tabanlı bir yapıya geçiyorsanız, eski ısı kontrol yöntemlerinin artık yeterli olmadığını fark etmişsinizdir. Waferleri ısıtmak için kızılötesi sistemler en iyi çözümdür. Bu sistemler, hedefe dokunmadan doğrudan etki eder ve neredeyse anında tepki verir.
Anlamlı bir kontrol sistemi
Dijital bir fabrikada, ısıtıcılar sadece “basit” bileşenler olmamalı; sensör gibi çalışmalıdır.
Kızılötesi sistemlerimiz, PLC devrelerine ve PID kontrol cihazlarına sorunsuz bir şekilde bağlanır. Doğrusal güç sağlayacak şekilde tasarlanmışlardır. Başka bir deyişle, yazılımınız wafer yüzeyindeki gerçek sıcaklığı tam olarak belirleyebilir. Artık tahmin yapmaya gerek yok; ısınma sürecinin doğru şekilde ilerlediğinden emin olabilirsiniz. Her bir ısıtma döngüsünün kaydı net bir şekilde tutulur.
Kısa dalga kızılötesinin avantajları
Enerjiyi silikon waferlere iletmekte son derece verimli oldukları için kısa dalga kızılötesi emiticilerini kullanıyoruz. Konveksiyon fırınlarının her şeyi ısıttığını düşünün; ancak kızılötesi sistemler farklıdır. Sadece hedef bölgeye etki eder ve diğer kısımları etkilemez. Böylece vakum odası ve ekipmanlar dev radyatörler haline gelmez. Ayrıca, güç yoğunluğu çok yüksek olduğundan daha küçük ısıtıcılar kullanılabilir ve üretim hızı yüksek tutulabilir. Bu da her iki taraf için de avantajlıdır.
Bir uyarı: Termal stres
Hız önemlidir, ancak bu durum iki ucu keskin bir kılıç gibi olabilir. Eğer ısı artışını aşırı hızlı yaparsanız, ince waferlerin deformasyona uğramasına veya termal stres oluşmasına neden olursunuz. Bu durumda dikkatli olmak gerekir. Güvenlik açısından, bu ısıtıcıları gerçek zamanlı termometrelerle birlikte kullanmanız önerilir. Böylece hedef değerleri aşmadan işlemi kontrol edebilirsiniz.
Geçiş süreci
Akıllı fabrikalar modüler yapıya sahiptir. Kızılötesi sistemlerimiz, eski tip dirençli ısıtıcıların yerini alacak şekilde tasarlanmıştır. En iyi yanı ise enerji israfının ortadan kalkmasıdır. Waferi ısıtmak için büyük miktarda metal ısıtmanıza gerek kalmaz; sadece wafer ısıtılır. Toplam enerji tüketiminiz azalır. Temiz oda havalandırma sistemleri de fazla ısıyla mücadele etmek zorunda kalmaz. Böylece her şey daha verimli hale gelir.