http://industrial-qz-heater.com/tr/tags/300mm/ Recent content in 300mm on Industrial Quartz Heating Systems Hugo tr Thu, 18 Jun 2026 00:44:19 +0800 http://industrial-qz-heater.com/tr/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Thu, 18 Jun 2026 00:44:19 +0800 http://industrial-qz-heater.com/tr/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="300 mm lik wafer için sabit ısıtma IR"></p> <p>300 mm’lik wafersin spin koaterdan nasıl çıktığını izleyin. Fotoresist orada, kullanıma hazır halde duruyor. Eğer ısıtma işlemi eşit olmazsa, sadece bir waferi kaybetmekle kalmazsınız; aynı zamanda tüm litografik süreçler üzerinde olumsuz etkiler oluşur. Bu sorunu çözmek için 300 mm’lik wafere özel bir IR sistemi geliştirdik; böylece ısıyı tam da ihtiyaç duyulan yere iletebiliyoruz.</p> <p><strong>Aslında önemli olan şey nedir?</strong> Hızlı ve doğrudan enerji transferi sağlamak için kısa dalga boylu kızılötesi vericiler kullanıyoruz. Bu sayede 300 mm’lik yü<a href="https://goldisgood.com">zeyin</a> tamamında sıcaklık kontrolü ±0,1°C düzeyinde sağlanıyor ve bu durum her döngüde devam ediyor. Bu sistem, Class 1–100 <a href="https://henruite.com">temiz</a> odalarla uyumludur ve parçacık üretmez; böylece oda temiz kalır.</p>