http://industrial-qz-heater.com/tr/tags/sondaj/ Recent content in Sondaj on Industrial Quartz Heating Systems Hugo tr Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/tr/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/tr/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Elipsometri wafer prob ısıtıcısı"></p> <p>Üretim alanında, elipsometri verilerinin değeri yalnızca probun sıcaklığına bağlıdır. Yumuşak veya sert fırınlamalar sırasında meydana gelen 1°C’lik bir sıcaklık değişimi, fotoresistin kalınlığını ve CD değ<a href="https://henruite.com">erlerini</a> etkiler; bu da ürünün kalitesini bozar. Biz ise bu tür sapmaların olmaması için elipsometri probu ısıtıcısını özel olarak tasarladık: Waferin sıcaklık uniformitesi ±0,1°C civarında kalır böylece okumalar sıcaklık dalgalanmalarına değil, sürece göre yapılır.</p> <p><strong>İç düzeyde önemli olanlar</strong><br> Isıtıcı, düşük termal kütleye sahip ve NIR ortamlar için optimize edilmiş bir eleman ile kuvars malzemeden yapılmış bir ısı iletim yolu kullanır. 25°C ile 300°C arasındaki sıcaklık değerleri ±0,1°C içinde sabit kalır ve rampa kontrolü sayesinde fotoresistin termal durumu belirlenen standartlarda tutulur. Temiz oda kuralları da göz önünde bulundurulmuştur: Kullanılan malzemeler ve contalar Class 1–100 standartlarına uygun olarak seçilmiştir ve tasarım, sabit çalışma koşullarında veya döngülü iş<a href="https://goldisgood.com">lemler</a> sırasında parçacık üretmez. Ürünün verimi 5.000 saat üzerinde stabil kalır ve sürekli kullanım sırasında yoğunlukta %5’ten az bir değişim olur.</p>