На поверхні пластини дані еліпсометрії мають значення лише тоді, коли температура зонда залишається стабільною. Коливання температури на рівні 1°C...

Подивіться, як з пристрою для нанесення фотополімеру виходить пластинка розміром 300 мм. Фотополімер вже готовий до використання – але якщо процес...