http://industrial-qz-heater.com/uk/tags/%D0%B5%D0%BB%D1%96%D0%BF%D1%81%D0%BE%D0%BC%D0%B5%D1%82%D1%80%D1%96%D1%8F/ Recent content in Еліпсометрія on Industrial Quartz Heating Systems Hugo uk Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/uk/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/uk/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Нагрівач для зонда елліпсометра"></p> <p>На поверхні пластини дані еліпсометрії мають значення лише тоді, коли температура зонда залишається стабільною. Коливання температури на рівні 1°C під час процедур „м’якого“ чи „жорсткого“ випалювання можуть вплинути на товщину фотополімеру та значення CD. Це призводить до того, що пластина не може бути використана у подальшому процесі виробництва. Ми створили нагрівач для зонда еліпсометра таким чином, щоб температура залишалась стабільною – рівномірність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C. Таким чином, показники, отримані за допомогою еліпсометра, відображають справжні параметри процесу, а не коливання температури.</p>