فیبرکی سطح پر، ایلپسومیٹری ڈیٹا کی قیمت صرف پروب کے درجہ حرارت کی بنیاد پر ہی معلوم کی جاسکتی ہے۔ سافٹ بیک یا ہارڈ بیک کے دوران 1°C کی تبدیلی سے فوٹوریزسٹ کی موٹائی اور CD میں تبدیلی آ جاتی ہے، اور اس کی وجہ سے ویفر خراب ہو سکتا ہے۔ ہم نے ایلپسومیٹری پروب ہیٹر کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ اس میں ایسی تبدیلیوں کی کوئی گنجائش ہی نہ ہو؛ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی تغیرات ±0.1°C کے اندر رہتے ہیں، تاکہ پڑھنے کا عمل درجہ حرارت کی تغیرات سے متأثر نہ ہو۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہیٹر میں کم حرارتی ماس والے، NIR-آپٹیمائزڈ عناصر اور کوارٹز کا استعمال کیا گیا ہے، تاکہ چک اور ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی تغیرات نہ ہوں۔ 25°C سے 300°C تک کی حدود میں درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے، اور ریمپ کنٹرول کی وجہ سے فوٹوریزسٹ کا درجہ حرارت مطلوبہ حد میں رہتا ہے۔ کلین روم کے قواعد کی پابندی کی گئی ہے؛ مواد اور سیلز کا انتخاب کلاس 1–100 کے مطابق کیا گیا ہے، اور ڈیزائن کی وجہ سے مستقل کام کے دوران کوئی ذرات باہر نہیں نکلتے۔ 5,000+ گھنٹوں تک آؤٹ پٹ مستحکم رہتا ہے، اور مسلسل کام کے دوران شدت میں 5% سے کم تغیر ہوتا ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی سسٹم میں، پروب ہیٹر ماپنے کے نقطے پر حرارتی حالات کو کنٹرول کرتا ہے، تاکہ ہارڈ بیک کے بعد پیدا ہونے والی درجہ حرارت سے متعلق تبدیلیوں کا سامنا نہ کرنا پڑے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت نہ پڑے۔ سافٹ بیک کی بار بار کی جانے والی کارروائیوں کی وجہ سے عمل میں بہتری آتی ہے، اور ایلپسومیٹری واقعی کیفیت کو درست طریقے سے دیکھ سکتی ہے۔ اس کے نتیجے میں تغیرات کم ہوتے ہیں، CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور سائیکل کا وقت بھی معلوم کیا جاسکتا ہے۔ تیز رفتار کنٹرول اور کم بیک اپ لاس کی وجہ سے توانائی کی بچت ہوتی ہے، اور درستگی برقرار رہتی ہے۔
کن چیزوں پر توجہ دینے کی ضرورت ہے؟
اس یونٹ کو صاف، فلٹرڈ بجلی کی ضرورت ہے، اور پروب انٹرفیس سے درست میکانی الائنمنٹ بھی ضروری ہے؛ غلط الائنمنٹ کی وجہ سے مائکرون سطح پر حرارتی عدم یکسانیت پیدا ہو سکتی ہے۔ یہ یونٹ معیاری ٹولز کے ساتھ بھی کام کر سکتا ہے، لیکن ایلپسومیٹری اسٹیج کے لئے کنکٹر اور ماؤنٹنگ کو خود ہی منتخب کرنا ہوگا۔ ویفر اسٹیک کے لئے PID کنسٹنٹس کو ٹیون کرنے کے لئے ایک مختصر ٹیسٹ رن ضروری ہے۔