Cảm biến nhiệt độ dùng cho thiết bị xử lý wafer

Mon, 27 Jul 2026 16:08:14 +0800

Sự khác biệt giữa việc sử dụng nhiệt độ từ bức xạ hồng ngoại và không khí nóng: Tại sao công cụ xử lý wafer lại chạy chậm?
Nếu bạn vẫn sử dụng phương pháp sưởi ấm bằng không khí nóng để xử lý các linh kiện bán dẫn, có lẽ bạn đang lãng phí quá nhiều thời gian vào việc chờ đợi.

Phương pháp sưởi ấm bằng không khí nóng hoạt động dựa trên nguyên lý đối lưu. Bạn cần làm nóng toàn bộ không gian bên trong buồng xử lý – mỗi inch khối không khí – trước khi wafer bắt đầu được làm nóng. Đây là một quá trình tốn nhiều thời gian. Thời gian chờ đợi này sẽ ảnh hưởng tiêu cực đến hiệu suất công việc của bạn.

Bộ gia nhiệt cho thiết bị kiểm tra bán dẫn

Tue, 02 Jun 2026 03:35:39 +0800

Trên sàn sản xuất, một biến động nhiệt độ trong quá trình kiểm tra wafer có thể làm thay đổi kích thước quan trọng, hủy cả lô và tiêu tốn nhiều giờ cho quá trình lithography. Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt cho thiết bị kiểm tra nhằm ngăn chặn tình trạng đó ngay từ đầu. Thiết bị sử dụng hồng ngoại sóng ngắn để tạo ra trường nhiệt với độ đồng đều dưới milimet và độ ổn định có thể tái lập — hoàn toàn phù hợp với giới hạn ngân sách nhiệt của các node hiện đại.

Câu Hỏi Yêu Cầu on Industrial Quartz Heating Systems

Cảm biến nhiệt độ dùng cho thiết bị xử lý wafer

Bộ gia nhiệt cho thiết bị kiểm tra bán dẫn