http://industrial-qz-heater.com/vi/tags/mems/ Recent content in MEMS on Industrial Quartz Heating Systems Hugo vi Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/vi/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Máy sấy wafer cảm biến MEMS"></p> <p><strong>Sấy khô các wafer MEMS bằng tia hồng ngoại: Phương pháp hiệu quả nhất</strong></p> <p>Khi chế tạo các cảm biến MEMS, điều cuối cùng mà chúng ta muốn tránh chính là sự xuất hiện của những giọt nước hoặc vết bẩn do chất lỏng gây ra, vì chúng có thể làm hỏng cấu trúc vi mô của wafer. Đó là một sự cân bằng rất khó khăn. Chúng ta cần wafer được sấy khô hoàn toàn, nhưng không thể chỉ dùng nhiệt để sấy chúng một cách ngẫu nhiên.</p>