Cảm biến nhiệt độ dùng cho thiết bị xử lý wafer
Sự khác biệt giữa việc sử dụng nhiệt độ từ bức xạ hồng ngoại và không khí nóng: Tại sao công cụ xử lý wafer lại chạy chậm?
Nếu bạn vẫn sử dụng phương...
Dây dính nhiệt cho nhiệt độ cao
Trong quy trình sản xuất, bạn biết đấy, chỉ cần nhiệt độ tăng thêm 0,5°C trong quá trình sấy phim photoresist cũng có thể khiến các kích thước quan...
Nhiệt độ đồng đều cho wafer kích thước 300mm công nghệ IR
Hãy xem cách mà những tấm wafer kích thước 300mm được lấy ra khỏi máy phủ chất bảo vệ bề mặt. Chất bảo vệ này vẫn còn ở trên bề mặt wafer, sẵn sàng...