Trên sàn sản xuất, độ trôi nhiệt trong quá trình làm khô wafer là điều mà một cell lithography không thể chấp nhận. Ngay cả một vài độ không đồng...

Trên sàn lithography, một wafer vừa ra khỏi bồn tẩy rửa sạch, vẫn còn ướt đẫm. Nếu máy sấy IR không kịp thời làm khô, sẽ để lại vết nước, lớp...