Bộ gia nhiệt hệ thống sấy wafer công nghiệp

Fri, 05 Jun 2026 01:03:51 +0800

Trên sàn sản xuất, độ trôi nhiệt trong quá trình làm khô wafer là điều mà một cell lithography không thể chấp nhận. Ngay cả một vài độ không đồng nhất trên bề mặt photoresist cũng sẽ biểu hiện dưới dạng lỗi chồng lớp và ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất. Chúng tôi đã chế tạo các máy sấy wafer công nghiệp của mình để loại bỏ biến số đó.

Độ chính xác hồng ngoại: Kiểm soát dưới milimét mà bạn có thể tin tưởng

Chúng tôi sử dụng các bộ phát hồng ngoại sóng ngắn qua một hệ thống quang học được thiết kế để định hình trường nhiệt với kiểm soát không gian dưới milimét. Lợi ích là độ đồng nhất nhiệt độ ở mức wafer trong khoảng ±0.1°C trên toàn bộ cửa sổ quy trình, và tính lặp lại giữ vững từ ca này sang ca khác, từ lô này sang lô khác. Các hồ sơ nướng mềm và nướng cứng giữ ổn định, kiểm soát CD được thắt chặt, và ngân sách nhiệt giữ trong giới hạn quy định. Trong hơn 5,000+ giờ, đầu ra giữ ổn định với độ trôi cường độ dưới 5%, và hệ thống được thiết kế để hoạt động 24/7 mà không có thời gian ngừng hoạt động không kế hoạch.

Bộ phận sấy wafer bằng đèn hồng ngoại

Mon, 01 Jun 2026 17:30:32 +0800

Trên sàn lithography, một wafer vừa ra khỏi bồn tẩy rửa sạch, vẫn còn ướt đẫm. Nếu máy sấy IR không kịp thời làm khô, sẽ để lại vết nước, lớp photoresist không bám được, và dây chuyền sản xuất sẽ bị ngưng trệ. Chúng tôi thiết kế bộ sấy wafer bằng đèn hồng ngoại để ngăn chặn lỗi này ngay từ đầu.

Điều quan trọng bên trong thiết bị
Chúng tôi sử dụng bộ phát quang hồng ngoại thạch anh sóng ngắn, giúp năng lượng tác động trực tiếp và nhanh lên wafer, đồng thời giữ cho nền wafer mát. Bạn đạt được độ đồng đều nhiệt trên wafer trong phạm vi ±0.1°C trong toàn bộ cửa sổ quy trình, đảm bảo các chu trình soft bake và hard bake giữ nguyên đúng thông số. Công suất đầu ra ổn định trên 5.000 giờ hoạt động với độ trôi cường độ dưới 5%, giúp tính lặp lại không suy giảm theo thời gian. Module đèn sấy phù hợp hoạt động trong phòng sạch Class 1–100 và được thiết kế không sinh ra hạt bụi—đã được xác nhận bằng đo đếm hạt bụi ngay tại điểm sử dụng.

Tấm Wafer on Industrial Quartz Heating Systems

Bộ gia nhiệt hệ thống sấy wafer công nghiệp

Độ chính xác hồng ngoại: Kiểm soát dưới milimét mà bạn có thể tin tưởng

Bộ phận sấy wafer bằng đèn hồng ngoại