晶圆烘干机灯泡更换灯泡

在工厂车间，凌晨 3 点一盏晶圆干燥灯熄灭并不算“维护”。这意味着生产线停工。软烘焙和硬烘焙温度开始漂移，光刻胶轮廓发生变化，颗粒计数上升。接下来你会发现，面对废料、返工和损失的晶圆启动。我们设计替换灯具的初衷就是为了避免这种情况的发生。 实际重要的内容 该灯具内部装有短波红外（SWIR）发射器，...