http://industrial-qz-heater.com/zh/tags/%E6%A4%AD%E5%9C%86%E5%81%8F%E6%8C%AF%E6%B3%95/ Recent content in 椭圆偏振法 on Industrial Quartz Heating Systems Hugo zh Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/zh/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 02:36:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/zh/posts/ellipsometry-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="椭圆偏振法晶圆探针加热器"></p> <p>在光刻工厂中，椭圆偏振测量数据的准确性取决于探头温度的稳定性。在软烘或硬烘过程中，哪怕温度只有1°C的波动，都可能改变光阻层的厚度以及晶圆的几何尺寸，从而导致晶圆无法被正常使用。因此，我们设计了这种椭圆偏振测量用探头加热器，其精度要求极为严格：晶圆表面的温度均匀性需保持在±0.1°C范围内，这样才能确保测量结果反映的是工艺流程本身的状态，而非温度波动带来的影响。</p>