为什么石英防护罩堪称制造设备中的“无名英雄”？ 如果您希望减少加热和固化过程中的能源浪费，那么您可能已经考虑过使用红外灯了。但要让这些灯真正高效工作，关键并不在于灯本身，而在于位于灯前的石英玻璃防护罩。 可以把这些防护罩视为加热元件的“保镖”。它们能够防止制造车间的污垢和化学蒸汽接触到灯的精密部件...

在工厂车间里，我们不会把光刻胶的烘烤过程视为简单的加热步骤。实际上，它是一种影响产品尺寸的关键因素。如果软烘或硬烘过程中的温度偏差达到2摄氏度，就会导致CD的尺寸出现变化，同时在界面处形成杂质，从而使得产品良率始终处于危险状态。使用中波石英加热管，就可以有效消除这种波动性。 真正重要的是对晶圆本身...

在制造车间，你需要快速学习：在光刻胶烘烤过程中半度的漂移可以使关键尺寸偏移纳米级别，而单个粒子可能会导致晶片失效。加热元件必须在每个周期中提供可重复、干净的热量。 技术要点 我们使用为半导体热预算设计的钨丝石英灯。钨丝提供稳定的辐射输出，而石英外壳能够以最小的气体释放传递干净的红外线。在目标平面上...