双管镀金灯管
别再等待了:我们为何选择使用镀金红外灯 如果你曾经使用过热风循环装置,那就知道其中的麻烦之处了。你需要先加热空气,然后让空气去加热工件,而在此期间你只能干等着。在半导体深度加工中,这种延迟时间实在是致命的——效率太低了。
我们决定不再依赖空气来加热,而是直接从源头开始加热。我们使用了镀金的双管式红...
金管红外线加热器
当热量无法到达需要温暖的地方时,原本宜人的夜晚就会变得糟糕。你本期望在户外空间中享受舒适的温度,但实际上却要忍受寒冷,而脸部则会被晒得发烫。传统的加热器往往因为将热空气向某个方向吹送而浪费能源。我们设计了金管红外线加热器来解决这个问题——它将热量视为光,再通过光学原理来精确控制热量的分布。
核心组...
中波石英加热管
在工厂车间里,我们不会把光刻胶的烘烤过程视为简单的加热步骤。实际上,它是一种影响产品尺寸的关键因素。如果软烘或硬烘过程中的温度偏差达到2摄氏度,就会导致CD的尺寸出现变化,同时在界面处形成杂质,从而使得产品良率始终处于危险状态。使用中波石英加热管,就可以有效消除这种波动性。
真正重要的是对晶圆本身...