用于半导体的镀金红外灯
如何保持洁净室的洁净状态:关于红外加热的真相
如果您正在运营100级洁净室,那么您肯定知道颗粒物带来的困扰。哪怕只有一粒微小的灰尘或少量气体释放出来,整批晶圆就都报废了。
问题在于,大多数普通的加热元件并不适合用于这种环境。因为它们在加热和冷却过程中会释放出微小的碎片,从而导致持续性的污染问题。...
带有金色反射器的红外线灯泡
别再浪费热量了:使用镀金反射器的优势 如果你在加工半导体晶圆时没有使用反射器,那简直就是把一半的钱白扔掉了。
试想一下,普通的石英红外灯会将热量向四周散发——360度全方位散热。如果没有东西来吸收这些热量,其中一半的能量就会流失到机器的机壳中,这无疑是一种浪费。我们使用镀金反射器来解决这个问题。它...
双管镀金灯管
别再等待了:我们为何选择使用镀金红外灯 如果你曾经使用过热风循环装置,那就知道其中的麻烦之处了。你需要先加热空气,然后让空气去加热工件,而在此期间你只能干等着。在半导体深度加工中,这种延迟时间实在是致命的——效率太低了。
我们决定不再依赖空气来加热,而是直接从源头开始加热。我们使用了镀金的双管式红...
金管红外线加热器
当热量无法到达需要温暖的地方时,原本宜人的夜晚就会变得糟糕。你本期望在户外空间中享受舒适的温度,但实际上却要忍受寒冷,而脸部则会被晒得发烫。传统的加热器往往因为将热空气向某个方向吹送而浪费能源。我们设计了金管红外线加热器来解决这个问题——它将热量视为光,再通过光学原理来精确控制热量的分布。
核心组...