http://industrial-qz-heater.com/zh/tags/mems/ Recent content in MEMS on Industrial Quartz Heating Systems Hugo zh Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 16:28:54 +0800 http://industrial-qz-heater.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://industrial-qz-heater.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>用红外线干燥MEMS晶圆：一种高效的方法<br> 在制造MEMS传感器时，最不希望看到的就是有水滴或溶剂残留物破坏微结构。这需要非常精确的控制。<a href="https://o-yate.com">虽然需要让</a>晶圆完全干燥，但也不能简单地用高温来处理它。</p> <p>因此，我们使用短波红外线加热器。与使用热空气或化学干燥剂相比，红外线可以直接将能量传递到晶圆表面。这种方式更直接、更高效。</p>