ফ্যাব ফ্লোরে, ওয়েফার শুকানোর সময় তাপীয় ড্রিফ্ট হল একটি লিথোগ্রাফি সেলের জন্য একদমই অগ্রহণযোগ্য। ফটোরেজিস্ট পৃষ্ঠ জুড়ে কয়েক ডিগ্রি অ-সমানতা ওভারলে ত্রুটি হিসেবে প্রকাশ পাবে এবং সরাসরি উৎপাদনে প্রভাব ফেলবে। আমরা আমাদের শিল্পিক ওয়েফার শুকানোর হিটারগুলোকে এই পরিবর্তনশীলতাকে দূর করার জন্য তৈরি করেছি।
ইনফ্রারেড সঠিকতা: সাব-মিলিমিটার নিয়ন্ত্রণ যা আপনি নির্ভর করতে পারেন
আমরা একটি প্রকৌশৃত অপটিক্যাল ট্রেনের মাধ্যমে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ইমিটার চালনা করি যাতে সাব-মিলিমিটার স্থানিক নিয়ন্ত্রণের সাথে তাপীয় ক্ষেত্রকে আকার দেওয়া যায়। এর ফলস্বরূপ, আমরা প্রক্রিয়ার উইন্ডো জুড়ে ±0.1°C এর মধ্যে ওয়েফার স্তরের তাপমাত্রার সমানতা এবং শিফট থেকে শিফট, লট থেকে লট পর্যন্ত ধরে রাখার জন্য পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা পেয়ে থাকি। সফট বেক এবং হার্ড বেক প্রোফাইল স্থিতিশীল থাকে, সিডি নিয়ন্ত্রণ সংকুচিত হয়, এবং তাপীয় বাজেট স্পেসিফিকেশনের মধ্যে থাকে। ৫,০০০+ ঘণ্টারও বেশি সময় ধরে, আউটপুট স্থির থাকে ৫% এরও কম তীব্রতা ড্রিফ্টের সাথে, এবং সিস্টেমটি পরিকল্পনাহীন ডাউনটাইম ছাড়াই ২৪/৭ চালানোর জন্য তৈরি।
কেন এটি উচ্চ-উৎপাদন সেমিকন্ডাক্টর শুকানোর জন্য উপযুক্ত
এই হিটারগুলোকে উৎপাদন ওয়েফার শুকানোর বাস্তবতার চারপাশে ডিজাইন করা হয়েছে: শূন্য কণার উৎপাদন, ক্লিনরুমের সাথে সামঞ্জস্যতা ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০, এবং দ্রুত তাপীয় স্থিতিশীলতা যা চক্রের সময় কমায় কিন্তু ফিল্মগুলোর উপর চাপ দেয় না। ইনফ্রারেড প্রতিক্রিয়া তাৎক্ষণিক এবং পরিষ্কার, তাই অবশিষ্ট দ্রাবকগুলি সমানভাবে দূর করা হয়, এবং প্রান্ত বীড অপসারণ পূর্বনির্ধারিত থাকে। আপনি আরও সংকুচিত প্রক্রিয়া উইন্ডো, কম পুনরায় কাজ, এবং প্রতি ওয়েফারের জন্য কম শক্তি পেয়ে যান কারণ তাপ চাহিদা অনুযায়ী সরবরাহ করা হয়—কোনও অপচয় তাপীয় ভর নেই।
ইনস্টলেশন এবং অপারেটিং নোট
শৃঙ্খলাবদ্ধ সংযোজনের প্রত্যাশা করুন। হিটারটি শুকনো চেম্বারের অপটিক্যাল অক্ষের সাথে সঠিকভাবে সরাতে হবে, এবং কুলিংকে নির্দিষ্ট প্রবাহ এবং তাপমাত্রায় পৌঁছাতে হবে। ভুলভাবে স্থাপন বা অপর্যাপ্ত কুলিং সমানতা খারাপ করবে। ইনস্টলেশনের আগে, আপনার প্ল্যাটফর্মের সাথে ভোল্টেজ এবং কানেক্টর সামঞ্জস্যের নিশ্চয়তা দিন। তারপর, সেই ±0.1°C সমানতা বজায় রাখতে সাধারণভাবে ইমিটার পরিদর্শনের জন্য সুপারিশকৃত ইন্টারভ্যাল অনুসারে পরিকল্পনা করুন।