In der Fertigungshalle ist die Genauigkeit der Ellipsometriedaten nur dann relevant, wie hoch die Temperatur der Sonde ist. Eine Abweichung von 1°C während des Weichbrennens oder Hartbrennens führt zu Veränderungen in der Dicke des Fotolacks sowie im CD-Wert. Dadurch kann das Wafer aus dem Prozess ausgeschlossen werden. Wir haben einen Heizer für die Ellipsometriesonde entwickelt, der eine Genauigkeit von ±0,1°C gewährleistet – so bleibt die Homogenität auf dem Wafer auf diesem Niveau und die Messwerte spiegeln den tatsächlichen Prozesszustand wider, nicht die Temperaturschwankungen.
Was wirklich wichtig ist Der Heizer verwendet ein Element mit geringer Wärmemasse sowie einen Quarzwärmetransportweg, um unerwünschte Temperaturgradienten zu vermeiden. Die Einstellwerte liegen zwischen 25°C und 300°C und bleiben dabei in einem Bereich von ±0,1°C. Die Steuerung sorgt dafür, dass das thermische Gleichgewicht des Fotolacks eingehalten wird. Die Vorschriften für Reinräume werden berücksichtigt: Die verwendeten Materialien und Dichtungen sind für eine Kompatibilität in Klassen 1–100 geeignet. Zudem gibt es während des Betriebs keine Partikelablagerungen. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei die Intensität weniger als 5% schwankt.
Warum das in der Lithografie funktioniert In den Lithografieverfahren sorgt der Heizer dafür, dass die thermischen Bedingungen am Messpunkt konstant bleiben. Dadurch werden temperaturbedingte Abweichungen vermieden, die sonst zu erneuten Bearbeitungszyklen führen würden. Durch die bessere Reproduzierbarkeit des Weichbrennens können die Prozessparameter besser kontrolliert werden. Dadurch werden weniger Abweichungen festgestellt, die Kontrolle über den CD-Wert wird verbessert und die Prozesszeiten können besser geplant werden. Zudem wird durch schnelles Erreichen der Zieltemperatur und niedrige Standby-Verluste Energie eingespart, ohne dass dabei die Präzision beeinträchtigt wird.
Was man beachten muss Die Anlage benötigt eine saubere, gefilterte Stromversorgung sowie eine präzise mechanische Ausrichtung zur Sonde. Eine falsche Ausrichtung kann zu temperaturbedingten Ungleichheiten im Mikrometerbereich führen. Die Anlage passt sich an Standardanschlüsse an, doch man muss den passenden Anschluss sowie die Befestigung für die Ellipsometriesonde festlegen. Planen Sie außerdem einen kurzen Testbetrieb, um die PID-Konstanten für Ihre Waferstapel anzupassen.