En la planta de litografía, no se puede permitir que haya desviaciones térmicas en la cámara donde se encuentra la capa de fotoreactivos. Estas desviaciones se manifiestan como residuos, daños en el patrón y una tasa de éxito en el proceso que nunca se podrá recuperar. Por eso, diseñamos un calentador especial para mantener la temperatura del proceso dentro de los límites establecidos; así, la química puede funcionar correctamente y la oblea sale limpia.
Lo que es importante en el interior del sistema
El dispositivo utiliza calefacción por halógenos de onda corta, a través de una ventana de cuarzo. Esto permite una respuesta rápida y una salida de calor constante. La uniformidad térmica en toda la superficie de la oblea se mantiene en ±0,1°C, y la reproducibilidad es alta, lo que evita que los parámetros del proceso cambien. El cuerpo del calentador es compatible con salas limpias de clase 1–100, y todas sus superficies están tratadas para minimizar la generación de partículas. En la práctica, esto significa menos defectos, un mejor control de los parámetros del proceso y resultados confiables. El sistema funciona 24/7, sin tiempos de inactividad no planificados, y el presupuesto térmico por ciclo se mantiene dentro de los límites establecidos.
Por qué esto funciona en el proceso real de fotoreactivos
La etapa de eliminación de los fotoreactivos se lleva a cabo después de las etapas de calentamiento suave y duro. En ese momento, las películas residuales son muy sensibles; los puntos calientes y los bordes fríos pueden causar problemas. Nuestro calentador mantiene la temperatura de la cámara dentro de los límites establecidos, sin excederlos. De esta manera, los solventes se evaporan de manera uniforme y los polímeros se eliminan completamente. Se obtienen tiempos de ciclo más rápidos, ya que la temperatura se controla perfectamente. Además, se ahorra energía, ya que el calentador se enciende rápidamente y luego mantiene la temperatura constante. Los parámetros del proceso mejoran, disminuyen los re trabajos y la línea de producción sigue funcionando sin interrupciones.
Cosas importantes a tener en cuenta durante la instalación
Es necesario que las dimensiones de la cámara y la interfaz de conectores coincidan. Ofrecemos dibujos técnicos y mapas de conexiones para las herramientas comunes utilizadas en este proceso. El calentador solo funciona de manera óptima cuando los sellos de la cámara son adecuados y el flujo de gas está equilibrado. Después de cualquier mantenimiento, se necesita un breve tiempo de calentamiento para volver a estabilizar los parámetros del proceso. Durante la integración del sistema, es necesario ajustar todo para mantener la uniformidad térmica deseada.