در کارخانههای تولید، دادههای حاصل از روش الیپسومتری تنها در صورتی ارزشمند هستند که دمای پروب نیز در حد مطلوب باشد. تغییر دما به میزان ۱ درجه سانتیگراد در فرآیندهای حرارتی، میتواند باعث تغییر ضخامت فوتورزیست و مقدار CD شود؛ این امر میتواند منجر به خرابی ویفر شود. ما هیتر مربوط به روش الیپسومتری را طوری طراحی کردهایم که هیچگونه تغییر دمایی رخ ندهد؛ یعنی یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. بنابراین، دادههای حاصل از این روش، نشاندهنده پیشرفت فرآیند هستند، نه تغییرات دما.
آنچه اهمیت دارد: هیتر از عناصری با جرم حرارتی پایین و ساختارهای مناسب برای انتقال حرارت استفاده میکند تا از ایجاد تفاوتهای دمایی در سطح ویفر جلوگیری شود. دمای کاری از ۲۵ درجه سانتیگراد تا ۳۰۰ درجه سانتیگراد، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ همچنین، کنترل دما باعث میشود که دمای فوتورزیست در محدوده مشخصی باقی بماند. قوانین مربوط به اتاقهای تمیز نیز در نظر گرفته شدهاند؛ مواد و قطعات مورد استفاده برای ساخت این دستگاه، برای استفاده در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ مناسب هستند؛ همچنین، این دستگاه در حالت استاندارد، هیچ ذرهای را از خود ساطع نمیکند. عملکرد این دستگاه در طی بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت، پایدار باقی میماند؛ تغییرات شدت نور نیز کمتر از ۵٪ است.
چرا این دستگاه در فرآیندهای لیتوگرافی مؤثر است: در فرآیندهای لیتوگرافی، هیتر مربوط به روش الیپسومتری، شرایط حرارتی در نقطه اندازهگیری را کنترل میکند؛ بنابراین، دیگر نیازی نیست که به تغییرات دمایی که پس از فرآیندهای حرارتی رخ میدهد، توجه شود. این امر باعث میشود که فرآیند لیتوگرافی بهتر پیش برود؛ همچنین، الیپسومتری میتواند وضعیت واقعی لایههای فوتورزیست را نشان دهد. نتیجه این امر، کاهش تغییرات در کیفیت ویفر، کنترل بهتر مقدار CD، و برنامهریزی بهتر زمانبندی فرآیندهاست. همچنین، این دستگاه باعث صرفهجویی در مصرف انرژی میشود؛ بدون اینکه دقت عملکرد آن کاهش یابد.
چه چیزهایی برای عملکرد صحیح این دستگاه ضروری است: این دستگاه نیاز به منبع تغذیه تمیز و فیلتر شده، و همچنین تطابق دقیق مکانیکی با رابط پروب دارد؛ عدم تطابق مکانیکی میتواند باعث ایجاد تفاوتهای دمایی در مقیاس میکرونی شود. این دستگاه قابل ادغام با رابطهای استاندارد ابزارهای لیتوگرافی است؛ اما باید اتصالات و نحوه نصب آن را خودتان تعیین کنید. همچنین، باید یک آزمایش کوتاه انجام دهید تا ثابتهای PID مربوط به این دستگاه تنظیم شوند.