در خط تولید، وجود نوسانات در منبع گرما، معنایی ندارد؛ چرا که این نوسانات میتوانند باعث اختلال در کیفیت تراشهها شوند. حتی تغییرات جزئی در دما نیز میتواند منجر به اختلال در عملکرد تراشهها شود. ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که این نوسانات را از بین ببرند.
چه چیزی اهمیت دارد؟
ما از عناصر هالوژنی با طول موج کوتاه درون پوشش کوارتزی استفاده میکنیم؛ این عناصر میتوانند دما را به سرعت تنظیم کرده و آن را در سطح مورد نظر حفظ کنند. در نتیجه، یکنواختی دما در سطح تراشه در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین، تکرارپذیری این فرآیند نیز بالا است. این سیستم میتواند در اتاقهای پاکسازی از کلاس ۱ تا ۱۰۰ استفاده شود؛ همچنین، پس از رسیدن به حالت پایدار، هیچ ذرهای تولید نمیشود. خروجی این سیستم در طول ۲۴ ساعت شبانهروز پایدار باقی میماند؛ پس از ۵۰۰۰ ساعت کار، نوسانات دما کمتر از ۳٪ خواهد بود؛ بنابراین، بودجه حرارتی میتواند پیشبینیپذیر باشد.
چرا این لامپها در فرآیند برناین مؤثر هستند؟
فرآیند برناین نیازمند گرمایی است که به سرعت وارد تراشه شده، پایدار بماند و هیچ آلودگیای ایجاد نکند. این لامپها میتوانند دما را به سرعت تنظیم کنند و از نوسانات دما جلوگیری کنند. در نتیجه، تعداد تراشههای ناکارآمد کمتر میشود و بازدهی فرآیند بالاتر میرود. همچنین، ما با استفاده از روشهای کارآمد برای انتقال گرما، مصرف انرژی را کنترل میکنیم؛ بنابراین، هزینههای عملیاتی کاهش مییابد، بدون اینکه سرعت تولید کاهش یابد.
نکاتی درباره استفاده از این لامپها:
این لامپها برای استفاده در دستگاههای استاندارد برناین طراحی شدهاند؛ اما تنظیم صحیح آنها نسبت به سطح تراشه بسیار مهم است. تغییرات کوچک در موقعیت قرارگیری لامپها میتواند باعث اختلال در یکنواختی دما شود. لذا، باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا پروفایل حرارتی برای تراشههای مورد نظر تعیین شود.