अपने हीटरों को अपने वेफरों को नष्ट करने से रोकें!
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको हवा के शुद्धीकरण के महत्व के बारे में पहले से ही पता होगा। लेकिन समस्या यह है कि आपके हीट स्रोत ही वास्तव में आपके वेफरों को नष्ट करने वाले कारक हैं।
अधिकांश सामान्य हीटिंग तत्व गंदगी उत्पन्न करते हैं; वे छोट-छोटे, सूक्ष्म कण उत्सर्जित करते हैं, जिन्हें आप देख नहीं सकते, लेकिन आपके वेफरों पर इनका नकारात्मक प्रभाव पड़ता है। ऐसी स्थिति में ही हमारे उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंप ही उपयोगी हैं।
क्वार्ट्ज क्यों कारगर है?
हमने उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का ही उपयोग किया, क्योंकि गर्मी के कारण यह धूल में नहीं बदलता।
धातु-आवरित हीटरों के विपरीत, ये लैंप छोट-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड विकिरण का उपयोग करते हैं। इससे ऊष्मा सीधे लक्ष्य तक पहुँचती है; इससे आसपास की हवा गर्म नहीं होती, जिससे धूल उड़ने की समस्या भी नहीं होती।
इसके अलावा, हम क्वार्ट्ज ट्यूबों को अत्यधिक तापमान पर ही जोड़ते हैं; इससे लैंप तक पहुँचने से पहले ही कोई भी कार्बनिक अवशेष नष्ट हो जाते हैं। इससे आपको कोई गंदगी नहीं मिलती।
छोटे आकार में भी अधिक ऊष्मा!
हमने इन लैंपों को तेज़ गति से काम करने हेतु ही डिज़ाइन किया है।
छोटे स्थान में ही अधिक ऊष्मा प्राप्त करने से, आपको वेफरों को सुखाने हेतु बड़े ओवनों की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
यदि आप इलेक्ट्रोडों की जाँच करें, तो आपको पता चलेगा कि हमने वहाँ विशेष ध्यान दिया है। हम विशेष ग्लास-टू-मेटल सीलों का उपयोग करते हैं, ताकि आंतरिक हैलोजन गैस बाहर न निकले। यदि ऐसी सीलें टूट जाएँ, तो लैंप तुरंत ही नष्ट हो जाता है। हमने इन जोड़ों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि गर्मी के कारण वे टूटें नहीं।
समस्याएँ एवं उनका समाधान
उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज थोड़ा ही संवेदनशील है। इसे गर्मी पसंद है, लेकिन इसे टक्कर लगना पसंद नहीं है। यह बहुत ही नाजुक है। यदि इसे स्थापित करते समय ध्यान न दिया जाए, या मशीन में अधिक कंपन हो, तो यह टूट सकता है। इसलिए अपने माउंटिंग ब्रैकेटों को अवश्य ही सुरक्षित रखें।
एक और बात: छोट-तरंगदैर्घ्य वाला इन्फ्रारेड विकिरण बहुत ही तीव्र होता है। इसलिए आपको अपने शील्डिंग उपकरणों की जाँच अवश्य करनी चाहिए। अन्यथा, आपके आसपास के सेंसर या प्लास्टिक घटक नष्ट हो सकते हैं।