लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट स्ट्रिप चैम्बर में तापमान में होने वाले उतार-चढ़ावों को सहन नहीं किया जा सकता। तापमान में होने वाले ऐसे उतार-चढ़ावों के कारण अवशेष बन जाते हैं, पैटर्न में क्षति हो जाती है, एवं उत्पादन में कमी आ जाती है। हमने ऐसा हीटर बनाया है जो प्रक्रिया के दौरान तापमान को नियंत्रित रखता है; इससे रासायनिक प्रक्रियाएँ सही तरीके से होती हैं, एवं वेफर साफ रहता है।
क्या महत्वपूर्ण है?
यह उपकरण क्वार्ट्ज विंडो के माध्यम से शॉर्ट-वेव हैलोजन ऊष्मा का उपयोग करता है; इससे प्रतिक्रिया तेज होती है, एवं आउटपुट स्थिर रहता है। वेफर के सम्पूर्ण क्षेत्र में तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं प्रत्येक चक्र में तापमान स्थिर ही रहता है। हीटर, क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप है, एवं प्रत्येक सतह को ऐसे ही तैयार किया गया है कि कणों का उत्पादन कम हो। व्यावहारिक रूप से, इससे दोष कम होते हैं, CD नियंत्रण बेहतर होता है, एवं परिणाम भी विश्वसनीय होते हैं। यह सिस्टम 24/7 काम करता है, एवं प्रत्येक चक्र में तापमान निर्धारित सीमाओं के भीतर ही रहता है।
वास्तविक फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में यह कैसे काम करता है?
“स्ट्रिप” चरण, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” के बाद होता है; ऐसे समय में अवशिष्ट फिल्में बहुत संवेदनशील होती हैं। हमारा हीटर, चैम्बर का तापमान निर्धारित स्तर पर ही रखता है; इससे विलायक समान रूप से वाष्पीकृत होते हैं, एवं पॉलिमर भी साफ हो जाते हैं। चूँकि तापमान नियंत्रित रहता है, इसलिए प्रक्रिया का समय भी कम हो जाता है। इसके अलावा, हीटर जल्दी ही गर्म हो जाता है, एवं फिर तापमान स्थिर ही रहता है। इससे प्रक्रिया में दोष कम होते हैं, एवं उत्पादन बेहतर होता है।
स्थापना के दौरान क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
चैम्बर के आकार एवं कनेक्टर इंटरफेस को ध्यान में रखना आवश्यक है। हम, सामान्य स्ट्रिप उपकरणों के लिए आयामी चित्र एवं पिन मैप भी प्रदान करते हैं। हीटर, तभी ही ठीक से काम करता है, जब चैम्बर का सीलिंग ठीक हो, एवं गैस प्रवाह भी संतुलित हो। रखरखाव के बाद, प्रोफाइल को पुनः स्थिर करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक होता है। इंटीग्रेशन के दौरान, निर्धारित तापमान सीमाओं को बनाए रखना आवश्यक है।