300 मिमी आकार के वेफरों को स्पिन कोटर से बाहर निकलते हुए देखें। फोटोरेसिस्ट वहीं मौजूद है, और इसे तैयार करने के लिए तैयार है… लेकिन यदि ऊष्मा-वितरण समान न हो, तो न केवल एक ही वेफर बर्बाद हो जाता है; बल्कि पूरी लिथोग्राफी प्रक्रिया पर भी असर पड़ता है। हमने इस समस्या को दूर करने हेतु 300 मिमी आकार के वेफरों के लिए विशेष आईआर प्रणाली विकसित की है… ताकि आवश्यक स्थानों पर ही समान ऊष्मा वितरित हो सके।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम तेज़ एवं सीधे ऊर्जा-हस्तांतरण हेतु शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं… इससे 300 मिमी आकार की सतह पर तापमान में ±0.1°C की समानता बनी रहती है… और यह स्थिति चक्र-दर-चक्र बनी रहती है। यह प्लेटफॉर्म क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी काम कर सकती है… एवं इसमें कोई कण नहीं उत्पन्न होता… इसलिए चैंबर हमेशा स्वच्छ ही रहता है।
लिथोग्राफी में इसका क्या महत्व है?
यह उन प्रक्रियाओं में मदद करता है जो ऊष्मा के प्रति संवेदनशील हैं… जैसे कि सॉफ्ट बेक, हार्ड बेक आदि। जब तापमान समान रहता है, तो क्रिटिकल डाइमेंशनों पर नियंत्रण बना रहता है… एवं दोषों में कमी आती है। ऊष्मा-प्रतिक्रिया तेज़ होने के कारण प्रक्रिया-समय भी कम हो जाता है।
आपको क्या तैयार करने की आवश्यकता है?
यह प्रणाली मौजूदा प्रक्रियाओं में आसानी से शामिल हो सकती है… लेकिन इसके लिए अलग से बिजली एवं कूलेंट की आवश्यकता है। 240V, थ्री-फेज बिजली एवं डीआयनाइज्ड पानी से कूलिंग आवश्यक है… ताकि लगातार भार के दौरान भी तापमान स्थिर रहे।
लाभ क्या है?
प्रक्रिया-नियंत्रण सुनिश्चित होता है… एवं दिन-रात ऐसी ही स्थिति बनी रहती है।