ヒーターがウェーハの品質を損なうのを防ぎましょう
クラス100のクリーンルームを運営しているなら、空気浄化の重要性はご存知でしょう。しかし、実際には、ヒーターこそが静かな敵となっていることが多いのです。
ほとんどの標準的な加熱要素は、使用中に微細な粒子を放出します。それらは目に見えないものですが、ウェーハには明らかな影響を与えます。ここで役立つのが、高純度の合成石英を使用した赤外線ランプです。
なぜ石英が有効なのか
私たちが高純度の石英を選んだ理由は単純です。高温になっても粉々にならないからです。
金属製のヒーターとは異なり、このランプは短波長の赤外線を利用します。そのため、熱は直接対象物に届き、周囲の空気を温める必要がありません。これにより、床面のほこりが舞い上がることもありません。
さらに、石英管は非常に高い温度で溶接されているため、ランプが使用される前に有機物が焼き切られます。そのため、運転開始時に不快なガスが発生することはありません。
小さなサイズで大きな熱量
私たちは速さを重視してこのランプを設計しました。
小さなスペースに大量のエネルギーを詰め込むことで、巨大なオーブンを使わずに十分な熱量を得ることができます。
電極のシール部分をよく見ると、私たちがどれだけ努力したかがわかります。特殊なガラスと金属のシールを使用して、内部のハロゲンガスが漏れ出ないようにしています。もしこのシールが漏れると、ランプはすぐに壊れてしまいます。私たちは、一日中温度を調整してもシールが割れないように特別に設計しました。
注意点（そして対処法）
高純度の石英は少し繊細です。熱を好みますが、衝撃を受けると壊れやすいです。設置時に乱暴に扱ったり、機械が激しく振動したりすると、壊れてしまいます。必ず取り付けブラケットに緩衝材を使用してください。
もう一つ、短波長の赤外線は非常に強力です。周囲のセンサーやプラスチック部品が損傷しないように、シールドの性能がその波長に適しているかを確認してください。