IRランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。 大量生産の半導体製造において、ランプが故障するというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に深刻な問題です。 石英のケースが割れると、ガラス片や金属の破片がウェーハの上に降り注ぎます。これは避けたいと思うほどの汚染事態です。だ...

熱を無駄にしないで：アルミニウム反射板の真実 スマートな製造現場では、熱は一般的に邪魔なものと見なされがちです。しかし、別の視点から見れば、実際には熱は有効なツールなのです。問題は、そのエネルギーのほとんどが機械の筐体の中に漏れてしまい、何の役にも立たないということです。そこで役立つのがアルミニウ...

300mmウェーハがスピンコーターから取り出される様子を見てみましょう。フォトレジストはそこにあって、すぐに処理を開始できる状態です。もし加熱が均一でなければ、1枚のウェーハだけを失うだけではありません。生産効率も低下し、リソグラフィーシステム全体の熱管理にも影響が出ます。私たちは、この問題を解決...