IRランプがウェーハを破壊するのを防ぎましょう。
大量生産の半導体製造において、ランプが故障するというのは、単なる面倒事や短時間の停止にとどまりません。それは本当に深刻な問題です。
石英のケースが割れると、ガラス片や金属の破片がウェーハの上に降り注ぎます。これは避けたいと思うほどの汚染事態です。だからこそ、私たちはIRセンサーや加熱ランプをこのように設計しているのです。
汚染を防ぐために
ケースには高純度の合成石英を使用しています。なぜかというと、急激な加熱や冷却に耐えられ、圧力によって割れることがないからです。
しかし、それだけではありません。保護用のシールや特殊なコーティングも施しています。これはまるでセーフティネットのようなものです。フィラメントが壊れても、その破片がウェーハに触れる前にシールがそれを受け止めます。そうすれば、ウェーハはきれいな状態のままです。簡単ですよね。
無理をしないこと
フル稼働状態では、ランプを限界まで使い込みがちです。私たちは、電極が過熱しないように、ワット数や電圧を適切に調整しています。
もしランプを過度に使い込むと、ケースが早く壊れてしまいます。私たちは、ウェーハを適切な温度に保ちつつ、石英が壊れないようにバランスを取っています。
妥協点
完璧なものはありません。シールや保護シートを追加すると、IRの透過率が少し低下します。つまり、効率が少し悪くなります。
しかし、わずか数秒待つだけで済むのです。一方で、わずかなガラス片のせいで300mmウェーハ全体を廃棄しなければならないのと比べれば、これは安い代償です。
設置時に注意すること
多くのランプは、接続部が緩んでしまうために故障します。私たちは標準化されたコネクタを使用して、しっかりと接続を確保しています。
配線が完了したら、冷却空気の流れをチェックしてください。もし筐体が十分な空気を送れない場合、ランプの寿命は短くなります。適切に空気が流れていれば、石英の寿命も長くなります。