캐비닛 벽을 더 이상 가열하지 마세요.
반도체 건조나 경화 시설을 만들어본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 캐비닛의 벽들은 정말 골칫거리입니다.
일반적인 적외선 히터는 에너지를 사방으로 방출합니다. 그 열의 대부분은 웨이퍼에 닿지 못하고 기계의 내부 벽에 부딪힙니다. 이로 인해 “열 축적”이 발생하죠. 결국 기계의 온도가 너무 높아져서 작업자가 화상을 입을 수도 있습니다. 그래서 기계가 녹아내리는 것을 막기 위해 과도한 냉각팬을 사용해야 합니다.
이 문제를 해결하는 방법은 다음과 같습니다.
단순히 석영관만 사용하는 대신, 방향성 있는 적외선 기술을 사용합니다. 마치 전구 대신 손전등을 사용하는 것과 같습니다. 반사 코팅과 정밀한 각도를 활용해 적외선 에너지를 정확히 필요한 곳으로 보냅니다.
이렇게 하면 에너지를 낭비하지 않고, 열이 직접 제품에 전달됩니다.
기계를 조작하는 사람들에게도 좋습니다.
이렇게 하면 작업 공간의 분위기가 완전히 달라집니다. 열이 집중되므로 기계의 내부 벽의 온도는 훨씬 낮아집니다. 도구를 교체하거나 수동으로 조정할 때 엔지니어가 화상을 입을 위험도 줄어듭니다.
게다가, 기계 내부 공간을 차지하는 두꺼운 단열재도 필요 없어집니다. 그러면 기계의 크기도 줄어듭니다.
단점 및 대처 방법
물론, 한 가지 단점이 있습니다. 빔을 집중시킬수록 그 지점의 열 밀도가 높아집니다. 만약 목표 지점이 틀어지거나 불균일하다면, 기판에 과열된 부분이 생길 수 있습니다.
이런 상황을 방지하기 위해, 이러한 램프와 함께 폐쇄형 PID 컨트롤러를 사용하는 것이 좋습니다. 이를 통해 실시간으로 실제 표면 온도에 따라 전력을 조절할 수 있습니다.
또한, 고주파 트리거를 사용하여 열이 너무 많이 발생하는 것을 막으면 됩니다. 이렇게 하면 기계는 시원하게 유지되고, 제품도 필요한 만큼의 열만을 받게 됩니다.