팹에서는 엘립소미터 측정 데이터의 가치는 프로브의 온도에 따라 결정됩니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변화가 있어도 포토레지스트의 두께와 CD 값이 변하게 되고, 그로 인해 웨이퍼가 실패할 수 있습니다. 저희는 이러한 온도 변동을 전혀 허용하지 않도록 엘립소미터용 웨이퍼 프로브 히터를 설계했습니다. 웨이퍼 전체의 온도는 ±0.1°C 내로 유지되므로, 측정값은 온도 변동이 아닌 공정 자체를 반영합니다.
중요한 요소들 히터는 낮은 열질량을 가진 NIR 최적화된 소자와 석영으로 만들어진 열전도 경로를 사용하여, 척과 웨이퍼 전체에 걸친 온도 차이를 최소화합니다. 25°C부터 300°C까지의 설정값은 ±0.1°C 내로 유지되며, 램프 제어 기능을 통해 포토레지스트의 온도가 규격 내에 유지됩니다. 클린룸 규정도 준수됩니다. 재료와 실링 부품은 Class 1–100 등급에 맞게 선택되며, 정상 작동 중이나 순환 작동 중에도 입자가 발생하지 않습니다. 연속 작동 시에도 출력은 안정적으로 유지되며, 강도 변동은 5% 미만입니다.
리소그래피에서의 장점 리소그래피 공정에서는 프로브 히터가 측정 지점의 열 조건을 안정적으로 유지시켜주므로, 하드 베이크 후에 발생하는 온도 변동으로 인한 오차를 방지할 수 있습니다. 그 결과 공정의 반복성이 향상되고, 엘립소미터는 실제 상태의 필름을 정확하게 측정할 수 있습니다. 이로 인해 공정 오류가 줄어들고, CD 제어가 더욱 정확해지며, 작업 시간도 예측 가능해집니다. 또한, 빠른 온도 조절과 낮은 대기 전력 소비 덕분에 에너지도 절약됩니다.
중요한 사항들 이 장비는 깨끗하고 필터링된 전력 공급과 프로브 인터페이스와의 정확한 기계적 정렬이 필요합니다. 정렬이 제대로 되지 않으면 마이크론 단위의 열 불균일성이 발생할 수 있습니다. 이 장비는 표준 도구 인터페이스와 연동될 수 있지만, 엘립소미터 스테이지의 커넥터와 마운트는 별도로 지정해야 합니다. 웨이퍼 스택에 맞는 PID 상수를 조정하기 위해 짧은 시간 동안 테스트를 진행해야 합니다.