IR 램프가 웨이퍼를 손상시키는 것을 막으세요.
대량 생산 환경에서 램프가 고장 나면 그저 번거로운 문제나 잠시의 생산 중단에 그치지 않습니다. 그건 정말 끔찍한 상황입니다.
쿼츠 커버가 부서지면 유리 조각과 금속 파편들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 처리하기 힘든 오염 문제입니다. 바로 이런 이유로 우리는 IR 센서와 가열 램프를 특별한 방식으로 설계하는 것입니다.
오염을 막기 위해
우리는 고순도 합성 쿼츠를 커버로 사용합니다. 왜냐하면 이 소재는 급격한 가열 및 냉각에도 균열이 생기지 않기 때문입니다.
하지만 거기서 그치지 않습니다. 보호용 슬리브나 특수 코팅을 추가하여 안전망을 만듭니다. 필라멘트가 고장 나더라도 슬리브가 파편들을 웨이퍼가 닿기 전에 막아줍니다. 그렇게 하면 웨이퍼는 온전한 상태를 유지할 수 있습니다. 간단하지요.
너무 과도하게 사용하지 마세요
전력을 최대한 사용할 때는 램프를 과도하게 사용하는 경향이 있습니다. 우리는 전력과 전압이 적절하게 맞도록 조절하여 전극이 과열되는 것을 방지합니다.
램프를 과도하게 사용하면 커버가 곧 고장 납니다. 우리는 쿼츠가 파괴될 정도로 스트레스를 주지 않으면서도 웨이퍼가 적절한 온도에 도달하도록 배치합니다.
현실적인 타협
완벽한 것은 없습니다. 보호용 슬리브를 추가하면 IR 전파가 약간 줄어듭니다. 효율성이 조금 떨어지는 셈입니다.
하지만 몇 초만 기다린다고 해서 큰 문제가 되지는 않습니다. 반면, 유리 조각 몇 개 때문에 300mm 웨이퍼 전체를 버려야 한다면 그건 큰 손실입니다. 분명한 선택입니다.
설치 시 주의사항
많은 램프들이 밀폐 부분에서 고장 납니다. 보통은 연결부가 느슨해져서 발생합니다. 우리는 표준화된 커넥터를 사용하여 전기적 연결이 단단하도록 합니다.
설치가 끝나면 냉각 공기의 흐름을 확인해야 합니다. 케이스가 열을 제대로 배출하지 못한다면 램프의 수명이 줄어듭니다. 공기가 계속 흐르도록 하면 쿼츠의 수명도 훨씬 길어집니다.