IR 램프가 웨이퍼를 손상시키는 것을 막으세요. 대량 생산 환경에서 램프가 고장 나면 그저 번거로운 문제나 잠시의 생산 중단에 그치지 않습니다. 그건 정말 끔찍한 상황입니다. 쿼츠 커버가 부서지면 유리 조각과 금속 파편들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 처리하기 힘든...

열을 낭비하지 마세요: 알루미늄 반사판의 진실 스마트 팩토리에서는 열이 보통 방해 요소로 여겨집니다. 하지만 다른 관점에서 보면, 열은 사실 유용한 도구가 될 수 있습니다. 문제는, 그 에너지의 대부분이 기계의 케이스로 빠져나가서 아무런 역할도 하지 못한다는 것입니다...

300mm 웨이퍼가 스핀 코터에서 나오는 과정을 확인해 보세요. 포토레지스트가 그 자리에 있으며, 이제 설정될 준비가 되어 있습니다. 만약 가열 과정이 균일하지 않다면, 단순히 하나의 웨이퍼만 손실되는 것이 아닙니다. 전체 리소그래피 장비의 성능도 저하됩니다. 우리는...