Di bilik proses pembuatan cip, data yang diperoleh daripada alat ellipsometri hanya berguna sekiranya suhu probe tersebut stabil. Sebarang perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses “soft bake” atau “hard bake” akan menyebabkan perubahan ketebalan lapisan fotoresist dan nilai CD. Ini seterusnya akan mengakibatkan wafer tidak dapat digunakan lagi. Kami telah mencipta pemanas khusus untuk probe ellipsometri agar dapat berfungsi dengan toleransi sifar terhadap perubahan suhu tersebut; kestabilan suhu pada tahap wafer kekal pada ±0.1°C, supaya bacaan yang diperoleh mencerminkan proses sebenar, bukannya perubahan suhu.
Apa yang penting di sebaliknya
Pemanas ini menggunakan unsur yang mempunyai jisim haba yang rendah serta laluan haba jenis kuarsa untuk memastikan tiada perbezaan suhu di permukaan wafer. Nilai suhu yang ditetapkan antara 25°C hingga 300°C kekal dalam julat ±0.1°C. Kawalan kelajuan pemanasan pula memastikan suhu lapisan fotoresist tetap dalam julat yang ditetapkan. Peraturan berkaitan bilik bersih juga dipatuhi sepenuhnya; bahan-bahan dan komponen yang digunakan sesuai untuk kelas kebersihan 1–100. Reka bentuk alat ini juga memastikan tiada zarah-zarah yang terlepas semasa operasi berterusan. Keluaran alat ini kekal stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan perubahan intensiti kurang dari 5% semasa operasi berterusan.
Mengapa ia berkesan dalam proses litografi
Dalam proses litografi, pemanas ini membantu menstabilkan keadaan haba di titik pengukuran. Dengan ini, masalah yang disebabkan oleh perubahan suhu dapat dielakkan, sehingga memudahkan proses pengeluaran cip. Ketepatan pengukuran juga meningkat, dan masa yang diperlukan untuk setiap kitaran proses dapat diramalkan dengan lebih tepat. Selain itu, penggunaan tenaga juga dikurangkan kerana masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang diinginkan adalah singkat, tanpa mengorbankan ketepatan pengukuran.
Apa yang perlu dilakukan dengan betul
Alat ini memerlukan bekalan kuasa yang bersih dan terkawal, serta penyesuaian mekanikal yang tepat pada antaramuka probe. Kegagalan penyesuaian ini boleh menyebabkan perbezaan suhu yang signifikan pada skala mikron. Alat ini boleh disambungkan kepada antaramuka alat biasa, tetapi anda perlu menentukan jenis konektor dan cara pemasangannya. Lakukan ujian pendek untuk menyesuaikan parameter PID agar alat ini berfungsi dengan optimum.