Mengurangkan Penggunaan Karbon di Kilang Semikonduktor: Mengapa Pemanasan Inframerah Berkesan
Jika anda ingin mencapai keadaan neutral karbon di kilang semikonduktor, anda akan menyedari bahawa sekadar membeli kredit tenaga hijau saja tidak mencukupi. Anda perlu menguruskan masalah berkaitan beban haba yang dihasilkan oleh sistem pemanasan tersebut.
Fikirkan tentang kaedah pemanasan tradisional menggunakan resistor atau ketuhar konvensional. Kaedah ini sangat membuang tenaga; separuh daripada tenaga yang digunakan digunakan untuk memanaskan udara dan dinding bilik sebelum wafer dapat merasai perubahan suhu. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Itulah sebabnya kita beralih kepada sistem pemanasan inframerah. Dengan cara ini, kita hanya memanaskan bahagian yang memerlukan pemanasan sahaja.
Memastikan Haba Sampai ke Tempat yang Betul
Inframerah menggunakan tenaga radiasi. Daripada menunggu udara menjadi panas, lampu inframerah akan menghantar foton secara langsung ke permukaan objek yang dipanaskan. Proses ini berlaku dengan sangat cepat.
Oleh kerana masa yang diperlukan untuk memanaskan objek menjadi lebih singkat, wafer tidak perlu dipanaskan untuk waktu yang lama. Ini bermakna penggunaan tenaga akan berkurangan, dan bil elektrik juga akan menjadi lebih rendah. Bergantung pada jenis bahan yang digunakan, kita boleh memilih panjang gelombang yang sesuai. Panjang gelombang pendek digunakan jika kita ingin memanaskan permukaan dengan cepat, manakala panjang gelombang sederhana digunakan jika kita ingin memanaskan bahan yang lebih tebal.
Realiti Bilik Bersih
Anda tidak boleh sekadar menukar mentol lampu dan menganggap tugas selesai. Di kilang semikonduktor, kontaminasi zarah merupakan musuh utama. Sebarang zarah yang terperangkap boleh merosakkan kualiti produk yang dihasilkan. Untuk mengelakkan pelepasan gas semasa proses pemanasan, kita menggunakan lapisan khas dan beg kuarsa.
Yang terbaik ialah sistem pemanasan inframerah ini memerlukan ruang yang jauh lebih sedikit berbanding ketuhar biasa. Ini memberi ruang yang lebih luas di dalam bilik tersebut. Selagi sistem pengagihan tenaga mampu menangani beban haba yang dihasilkan, sistem ini boleh digunakan bersama-sama dengan peralatan sedia ada.
Kelemahan Sistem Ini (Kerana Tiada yang Sempurna)
Masalahnya ialah sistem inframerah walaupun berkuasa, tetapi ia memerlukan ketepatan yang tinggi. Ia menghasilkan perbezaan suhu yang besar. Jika lampu berada sedikit salah kedudukannya, ia akan menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas. Untuk mengelakkan ini, kita memerlukan pengawal PID yang tepat serta sensor untuk memastikan suhu tetap seragam.
Selain itu, lampu inframerah yang berkuasa tinggi akan menghasilkan banyak haba di bahagian belakangnya. Jika sistem HVAC dan sistem penyejukan tidak cukup kuat untuk mengeluarkan haba tersebut, ia akan menyebabkan alarm berbunyi.
Walaupun memerlukan sedikit usaha untuk menyesuaikan sistem ini, penjimatan tenaga yang diperolehi pasti berbaloi.