Op de productielijn heeft het ellipsometriedata alleen waarde als de temperatuur van de sonde precies bekend is. Een verschil van 1°C tijdens het zachte of harde bakproces kan ertoe leiden dat de dikte van de fotorezist en de CD-waarde veranderen. Hierdoor kan de wafer beschadigd raken. We hebben een heater ontwikkeld die werkt met nul tolerantie voor dit soort afwijkingen: de uniformiteit op het niveau van de wafer blijft bij ±0,1°C. Op deze manier kan de meting worden gebruikt om de processen te monitoren, in plaats van de temperatuurschommelingen.
Wat belangrijk is achter de schermen De heater maakt gebruik van een element met lage thermische massa en een kwartsbuis om gradaties te voorkomen. De ingestelde temperaturen liggen tussen 25°C en 300°C, met een precisie van ±0,1°C. De rampcontrole zorgt ervoor dat de thermische omstandigheden binnen de vereisten blijven. Er zijn ook regels voor de schoonheid van de ruimte: materialen en sluitingen worden gekozen om compatibel te zijn met klasse 1–100. Het ontwerp zorgt er bovendien voor dat er geen deeltjes vrijkomen tijdens het gebruik. De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% intensiteitsafwijkingen tijdens continu gebruik.
Waarom dit werkt in de lithografie In lithografieapparaten zorgt de heater ervoor dat de thermische omstandigheden op het punt van meting constant blijven. Hierdoor hoeven we geen rekening te houden met temperatuurschommelingen die optreden na het harde bakproces. Dit zorgt voor betere herhbaarheid en betere controle over de CD-waarde. Bovendien kan men de cyclusduur beter plannen. Er wordt ook energie bespaard door de snelle stabilisatie en de lage standby-verliezen, zonder dat de precisie wordt aangetast.
Wat er nodig is om het goed te laten werken De unit heeft een schone, gefilterde stroomvoorziening nodig, evenals een nauwkeurige mechanische afstemming op de sonde. Onjuiste afstemming kan leiden tot thermische oneffenheden op micronniveau. De unit kan worden geïntegreerd in standaardapparaten, maar u moet zelf bepalen welke verbindingen en bevestigingsmiddelen nodig zijn. Plan een kort testrit om de PID-constanten in te stellen voor uw waferstack.