Op de productieafdeling weet je hoe snel een verschil van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotoresist tot gevolg kan hebben dat de cruciale afmetingen niet meer voldoen aan de vereisten. Hierdoor gaat veel materiaal verloren. We hebben ons hoge-temperatuursysteem ontwikkeld om deze onzekerheid weg te nemen.
Wat technisch gezien belangrijk is: Het systeem zorgt voor een constante temperatuur van ±0,1°C over het hele oppervlak van de chips. Dit wordt bereikt met behulp van kortegolf-infraroodlicht en een gesloten-luspyrometrie-systeem. Het systeem is ontworpen voor schone ruimtes van klasse 1–100. De materialen die worden gebruikt, hebben een lage uitstoot van gassen, en het systeem heeft een constructie die ervoor zorgt dat het aantal deeltjes onder het vereiste niveau blijft, zowel bij zachte als harde verhittingsprocessen. De profielen van de fotoresist blijven steeds hetzelfde, want de thermische omstandigheden worden precies geregeld – er wordt geen gokwerk gedaan.
Waarom dit werkt in de lithografie: De temperatuurstabiliteit tijdens het zachte verhitten heeft invloed op het verwijderen van oplosmiddelen en op de spanning in het filmlaagje. De herhaalbaarheid tijdens het harde verhitten bepaalt de hechting en de weerstand tegen etching. Ons systeem zorgt ervoor dat deze parameters binnen de vereisten blijven. Hierdoor wordt er minder herwerking nodig, stijgt de opbrengst en wordt energieverbruik verminderd, omdat de hitteprecisies goed worden geregeld. Hierdoor is er betere controle over de afmetingen, minder defecten en kunnen de onderhoudsintervallen beter worden gepland. Kortom: hogere productiecapaciteit zonder dat er rekening hoeft te worden gehouden met ongewenste afwijkingen.
Een paar praktische tips: Bij de installatie moet de stroomsterkte van de afvoersystemen en de trillingsisolatie worden aangepast aan de specificaties van het apparaat. Als de leidingen niet goed passen, kan dit leiden tot turbulentie in de luchtstroom, waardoor de constante temperatuur niet wordt behouden. De heater kan meerdere verhittingscycli doorstaan, maar bij hoge temperaturen en hoge productiesnelheden moet de interface regelmatig worden gecontroleerd om de hechting in stand te houden. Als alles goed wordt afgestemd op het proces, werkt het systeem zoals het hoort.