Voorkom dat uw IR-lampen uw wafers beschadigen
Bij een productieomgeving met hoge volumes is het uitvallen van een lamp niet zomaar een klein probleem of een korte stilstand. Het is een nachtmerrie.
Wanneer de kwartsomhulling kapotgaat, vallen er glasdeeltjes en metalen fragmenten recht op de wafers terecht. Dat leidt tot een ernstige vervuiling die u absoluut niet wilt hebben. Precies daarom bouwen we onze IR-sensoren en verhittingslampen op deze manier.
Het voorkomen van schade
We gebruiken synthetisch kwarts van hoge zuiverheid voor de omhullingen. Waarom? Omdat dit materiaal het kan hebben tegen snelle opwarming en afkoeling, zonder te breken onder druk.
Maar we stoppen hier niet bij. We voegen ook een beschermende laag toe. Denk erbij aan een soort ‘veiligheidsnet’. Als het filament kapotgaat, vangt de laag de brokstukken op, zodat ze de wafers niet raken. Op deze manier blijven de wafers intact. Eenvoudig, toch?
Doe het niet te hard
Als u op volle toeren werkt, is het gemakkelijk om de lampen te veel onder druk te zetten. We zorgen ervoor dat de vermogenssterkte en spanning perfect op elkaar aansluiten, zodat de elektroden niet oververhit raken.
Als u de lampen te veel belast, zal de omhulling eerder kapotgaan. We vinden een balans: de wafers worden op de juiste temperatuur gebracht, zonder dat de kwarts omhulling te veel wordt belast.
De reële trade-offs
Niets is perfect. Door een beschermende laag toe te voegen, neemt de IR-uitstraling iets af. U moet dus wat efficiëntie opofferen.
Maar wacht even: het is een kleine prijs om te betalen voor het voorkomen van grote schade. Vergelijk dit maar eens met het feit dat u een hele batch van 300mm-wafers moet weggooien vanwege een paar glasdeeltjes. Dat is natuurlijk geen optie.
Goede installatie
Veel lampen falen door slechte aansluitingen, waardoor er warmteplekken ontstaan. We gebruiken gestandaardiseerde aansluitingen om te zorgen voor een goede elektrische verbinding.
Zodra alles is aangesloten, controleert u of de luchtcirculatie goed is. Als de behuizing niet genoeg lucht kan verplaatsen om de hitte te verwerken, zal de lamp sneller kapotgaan. Zorg ervoor dat de luchtstroom constant blijft, dan zal de kwartsomhulling veel langer meegaan.