ในห้องผลิตชิป ข้อมูลจากเครื่องวัดค่าเอลลิปโซมเมตรีจะมีคุณค่าก็ต่อเมื่ออุณหภูมิของหัววัดอยู่ในระดับที่เหมาะสมเท่านั้น การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C ในระหว่างกระบวนการอบชิป ก็สามารถทำให้ความหนาของฟิล์มโฟโตรีซิสต์และค่า CD เปลี่ยนแปลงได้ ซึ่งจะส่งผลให้ชิปไม่สามารถใช้งานได้ เราจึงออกแบบหัววัดค่าเอลลิปโซมเมตรีให้มีความแม่นยำสูง โดยให้อุณหภูมิของชิปอยู่ในช่วง ±0.1°C เท่านั้น เพื่อให้ค่าที่ได้สะท้อนถึงกระบวนการผลิตจริง ไม่ใช่แค่การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิเท่านั้น
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
หัววัดนี้ใช้องค์ประกอบที่มีมวลความร้อนต่ำ และมีการออกแบบมาเพื่อใช้กับแสงอินฟราเรด รวมถึงใช้วัสดุควอตซ์เพื่อลดความแตกต่างของอุณหภูมิบนชิป ค่าอุณหภูมิที่ตั้งไว้จะอยู่ในช่วง 25°C ถึง 300°C โดยมีความคลาดเคลื่อนไม่เกิน ±0.1°C นอกจากนี้ ระบบควบคุมอุณหภูมียังช่วยให้อุณหภูมิของฟิล์มโฟโตรีซิสต์อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้ นอกจากนี้ ยังมีการออกแบบให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องผลิตที่มีมาตรฐานสูง โดยเลือกวัสดุและอุปกรณ์ที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานในห้องผลิตที่มีมาตรฐาน Class 1–100 อีกทั้งการออกแบบยังช่วยให้ไม่มีฝุ่นละอองเกิดขึ้นระหว่างการทำงาน อัตราการให้พลังงานจะคงที่ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความคลาดเคลื่อนของความเข้มแสงน้อยกว่า 5%
เหตุใดจึงเหมาะสำหรับการใช้งานในกระบวนการลิโธกราฟี
ในกระบวนการลิโธกราฟี หัววัดนี้ช่วยควบคุมสภาพอุณหภูมิที่จุดวัดได้อย่างแม่นยำ ทำให้ไม่เกิดความคลาดเคลื่อนจากอุณหภูมิที่เกิดขึ้นหลังจากการอบชิป ซึ่งจะช่วยลดความจำเป็นในการทำงานซ้ำ นอกจากนี้ ความสามารถในการวัดค่า CD ก็จะดีขึ้น ทำให้สามารถวางแผนเวลาการผลิตได้อย่างแม่นยำ นอกจากนี้ ยังช่วยประหยัดพลังงานได้อีกด้วย เนื่องจากมีการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ส่งผลต่อความแม่นยำในการวัด
สิ่งที่จำเป็นต้องทำให้ถูกต้อง
อุปกรณ์นี้ต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่สะอาดและมีความแม่นยำ รวมถึงต้องมีการปรับตำแหน่งของอุปกรณ์ให้ตรงกับจุดวัดอย่างแม่นยำ มิฉะนั้นอาจเกิดความแตกต่างของอุณหภูมิในระดับไมครอนได้ อุปกรณ์นี้สามารถใช้งานร่วมกับอุปกรณ์มาตรฐานได้ แต่คุณต้องกำหนดรูปแบบของตัวเชื่อมต่อและการติดตั้งสำหรับอุปกรณ์นี้ด้วย นอกจากนี้ ควรมีการทดสอบการใช้งานเบื้องต้นเพื่อปรับค่า PID ให้เหมาะสมกับชิปที่ใช้งาน