Wafer tezgahında, pişirme adımları ve yapıştırıcı kürleme, hat verimini belirler. Sert pişirme profiline 1.5°C’lik bir sapma, çok sayıda 200mm wafer’ın hurdaya çıkmasına neden olabilir. Isı, reçetenin talep ettiği yerde ve her vardiyada tam olarak uygulanmalıdır.
Teknik olarak önemli olan
Kızılötesi kürleme modüllerimiz, alt tabaka boyunca wafer seviyesinde ±0.1°C termal uniformite sağlar ve parti-parti sıcaklık tekrarlanabilirliği ±0.5°C içindedir. Emitörler, fotoresist ve yarı iletken yapıştırıcının absorpsiyonuna göre ayarlanmış kısa dalga kızılötesidir. Bu, termal gecikmeyi azaltır ve aşım olmadan hızlı ısı artışına olanak tanır.
Sistem, Class 1–100 temiz oda şartlarında çalışır. 0.1 μm altı partikül üretimi sıfır olarak doğrulanmıştır ve plansız duruş olmadan 7/24 çalışır. Enerji tüketimi geleneksel sıcak tablalara kıyasla %25–35 daha düşüktür ve daha sıkı termal bütçe, proses penceresini genişletir.
Litografi ve paketlemede neden tercih edilir
Litografide, yumuşak pişirme ve sert pişirme işlemleri sıkı zaman-sıcaklık sınırlarıyla yürütülür. Paketlemede ise yapıştırıcı kürleme, yapışma hedeflerine ulaşmalı ve gaz çıkışı olmamalıdır. Kızılötesi ısıtma, taşıyıcıyı değil filmi doğrudan ısıtır; böylece kritik boyut kontrolü daha tutarlı olur ve kenar boncuk sorunları azalır.
Döngü süresi kısalır, hurda oranı düşer ve bakım gereksinimi azalır – sıcak tablanın ön ısınmasına veya pişirme kaynaklı kalıntılara artık gerek yoktur. Paketleme hatlarında aynı hassasiyet, 300mm alt tabakalar üzerinde gözeneksiz dolgu ve tekrarlanabilir kür profilleri sağlar.
Pratik detaylar
Kızılötesi kürleme görüş hattı gerektirir; bu nedenle, düz olmayan topografyalarda gölge oluşabilir. Emitör dizisi ve optikler, yığın yüksekliğiniz ve özellik profilinize uygun şekilde boyutlandırılır. Termal profilin kesinleşmesi için temsilci cihazlarda kısa bir kalibrasyon çalışması önerilir.
Kurulum için özel 240 V beslemesi ve temiz oda sınıfı egzoz gereklidir. Mevcut hatlara entegrasyon kolaydır ancak her ekipman değişiminden sonra termal set noktalarının tekrar doğrulanması gerekir.