Neden kurşunsuz yarı iletkenler için kızılötesi kurutma yöntemini kullanıyoruz?
Yarı iletken üretim yöntemlerimiz değişiyor. Artık o kötü solvent bazlı kurutuculardan ve ağır metal katalizörlerden uzaklaşıyoruz. Çoğumuz kızılötesi (IR) kurutma yöntemine geçiyoruz. Neden mi? Çünkü bu daha mantıklı. Tüm odanın ısınmasına veya kimyasal katkı maddelerine ihtiyaç duymadan, kızılötesi ışınlar doğrudan wafer yüzeyine etki eder. Bu yöntem hem daha etkilidir hem de daha temizdir.
Enerjinin nasıl aktarıldığı
Bunu şöyle düşünün: Kızılötesi kurutma yöntemi, fotoresist veya yapıştırıcıdaki molekülleri harekete geçirmek için elektromanyetik radyasyon kullanır. Standart konveksiyon fırınları yavaştır; çünkü önce havayı ısıtmak zorundadırlar. Kızılötesi lambalar ise bu adımı atlar ve enerjiyi doğrudan waferin üzerine aktarır. Böylece pişirme sırasında ortaya çıkan organik solventlerden kurtulmuş olursunuz. Ayrıca, dalga boyunu malzemenize uygun şekilde ayarlayarak gereksiz ısı harcamasından kaçınırsınız.
“Altın Oran” mesafesi
Waferin ısınması söz konusu olduğunda mesafe çok önemlidir. Lambaları çok yakına yerleştirirseniz sorunlar yaşarsınız; “sıcak noktalar” oluşur veya daha kötüsü, fotoresist tamamen yanar. Ancak lambaları çok uzakta yerleştirirseniz ısınma süresi uzar ve üretim hızı düşer. Bu bir denge meselesidir. Isının eşit dağıldığı ancak yoğunluğun yeterli olduğu bir nokta bulmak gerekir. Unutmayın ki, daha dar bir mesafe daha fazla ısı anlamına gelir; bu da ürünün zarar görmemesi için konveyör bantlarının hızlandırılmasını gerektirir.
Gerçek dünyadaki dezavantajlar
Olumlu yanlarından bahsetmek gerekirse, bu yöntem çok daha “yeşil” bir yöntemdir. Kurşun içeren stabilizatörler yoktur. Temiz oda için büyük bir karbon ayak izi de oluşmaz. En iyisi ise anında işlem yapabilmesidir. Ön ısıtma sürelerini beklemeye gerek yoktur.
Ancak her şey mükemmel değil. Bu yüksek yoğunluktaki kızılötesi ışınlar çok fazla elektrik tüketir. Eğer elektrik şebekeniz bu tür ani yük artışlarına dayanamıyorsa, ısınma başladığı anda sigortalar atar. Ayrıca, lamba gövdeleri için sağlam bir soğutma sistemi olmadan, bu ısı taşıma mekanizmasına sızar ve her şeyi berbat eder. Genellikle lambaların arkasına zorlanmış hava soğutması eklenmesini öneririm. Bu sayede tüm sistem stabil kalır ve pahalı sorunlar ortaya çıkmaz.